钛表面外延生长弛豫铁电薄膜水热工艺研究

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• 作者：陈秀丽刘来君樊慧庆
• 会议时间：2006-08-01
• 关键词：PZN薄膜 ; 弛豫铁电薄膜 ; 水热工艺 ; 外延生长 ; 钛表面
• 作者单位：西北工业大学材料学院,西安,710072
• 母体文献：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
• 会议名称：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
• 会议地点：兰州
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

Pb(Zn1/3Nb2/3)O3(PZN)弛豫铁电陶瓷是一种高介电、高机电耦合系数以及较高居里温度的介质材料.PZN薄膜在微位移器、微传感器等领域有广阔的应用前景.本文采用氧化物为原料,以金属钛为基底,在150℃的低温下水热法外延生长了PZN薄膜.研究发现:矿化剂的初始浓度对于薄膜的质量有着至关重要的影响;所制备PZN薄膜颗粒均匀,表面致密没有裂纹。