基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真

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• 作者：陈涛金仁成张凤田王宏斌
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：微气压传感器 ; 模糊控制 ; 模糊PID控制 ; MATLAB仿真 ; 测试系统 ; 气压控制
• 作者单位：陈涛,王宏斌(大连理工大学微系统研究中心,大连,116024)金仁成,张凤田(大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

本文针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小,控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa~100kPa的实时气压控制提供了依据.