等离子体化学气相沉积类金刚石碳膜的特性及应用
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摘要
本文介绍了类金刚石(DLC)膜,它是含有SP3键的亚稳态非晶碳膜,是具有极高的硬度、化学稳定性和光学透明性的半导体材料。 本文综述介绍了用等离子体化学气相沉积DLC膜的沉积方法、所制备薄膜的性能及应用,最后展望了DLC膜的发展趋势。

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