窄脉冲保形全方位离子注入进展
- 作者：汤宝寅王浪平
- 会议时间：2002-12-27
- 关键词：等离子体浸没离子注入 ; 全方位离子注入 ; 鞘层动力学计算机模拟 ; 阴极弧金属等离子体源 ; 金属表面改性
- 作者单位：哈尔滨工业大学,现代焊接生产技术国家重点实验室
- 母体文献：全国特种连接技术交流会论文集
- 会议名称：全国特种连接技术交流会
- 会议地点：哈尔滨
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
摘要
本文叙述了窄脉冲保形全方位离子注入发展过程,评述了近几年来PⅢ过程鞘层动力学计算机数值模拟研究,强流脉冲阴极弧金属等离子体源,大功率固体电路脉冲调制器高压电源,及窄脉冲保形全方位离子注入工业机研制方面的重大进展.