Love波传感器及其质量灵敏度测试
- 作者：胡友旺史建亮贾宏光吴一辉
- 会议时间：2006-09-21
- 关键词：Love波传感器 ; LiTaO3 ; PMMA ; 灵敏度
- 作者单位：胡友旺,史建亮(中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100039)贾宏光,吴一辉(中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033)
- 母体文献：传感技术学报
- 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
- 会议地点：南京
- 主办单位：中国仪器仪表学会
- 语种：chi
摘要
为实现流体领域的液相传感,本文设计并制作了基于36°-YX LiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281 g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响,为进一步提高灵敏度提供了参考.