CFEC/Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))0_3-PbTi0_3结构乐甫波传感器的理论研究
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  • 作者:罗子情 ; 王晓鹏 ; 马玉姣 ; 黄乃兴
  • 中文刊名:ELEW
  • 英文刊名:Electronics World
  • 机构:东北石油大学电子科学学院物理系;
  • 出版日期:2019-06-30
  • 出版单位:电子世界
  • 年:2019
  • 期:No.570
  • 基金:国家大学生创新训练项目,编号:201810220060
  • 语种:中文;
  • 页:ELEW201912050
  • 页数:2
  • CN:12
  • ISSN:11-2086/TN
  • 分类号:88-89
摘要
<正>1.引言乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中,且波导层中的剪切波速低于基底中的剪切波速。关于乐甫波器件波导层的研究,Du等人通过射频溅射技术成功制备出厚度达7.3μm的熔凝石英(Si0_2)厚膜,这种技术的采用解决了Si0_2波导层的制备难题。单向碳纤维树脂复合材料(CFEC)的声阻抗与Si0_2和铝的声阻抗非常接近,且其密度更
        
引文

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