摘要
光电自准直仪是自准直技术与光电技术相结合的产物。文章详细说明了一种具有抗干扰、非线性修正功能的光电自准直仪的设计过程,给出了光源和信号处理电路的研制方法,以及采用此方法的光电自准直仪的研制结果。对提高基于PSD的光电自准直仪的测量精度具有参考意义。
引文
[1]张继友,范天泉,曹学东.光电自准直仪研究现状与展望[J].计量技术,2004(7):27-29.
[2]吕爱民,袁红星.入射光强和背景光对二维光电位置敏感器件干扰的影响[J].光学学报,1998,18(6):762-766.
[3]袁红星,贺安之. PSD位置特性与光斑及背景的关系研究[J].东南大学学报(自然科学版),1999,29(2):145-149.
[4]闫洪猛,李田泽.二维PSD非线性误差修正算法的研究[J].山东理工大学学报(自然科学版),2007,21(6):31-34.
[5]尚鸿雁,张广军.PSD位置响应特性与光源照射方式的关系研究[J].光学技术,2005,31(3):445-448.
[6]尚鸿雁. PSD安装倾斜误差对光斑定位影响的研究[J].半导体光电,2010,31(2):317-320.
[7]吕爱民,袁红星.测试条件对PSD位置精度的影响[J].传感器技术,1999,18(4):43-44.
[8]吕爱民,袁红星,贺安之.位置指示光源对PSD定位精度影响的实验研究[J].激光技术,2000,24(3):192-195.
[9]裴先登,罗春,黄浩.PSD高精度位置测量系统的研究与设计[J].华中科技大学学报(自然科学版),2004,32(2):7-9.
[10]黄梅珍,林斌.四边形电极结构二维PSD非线性及失真分析[J].半导体光电,2000,21(4):269-271.
[11]张风奇,王永生,张宝尚,等.二维位置敏感器件(PSD)的畸变校正算法研究[J].计算机科学,2013,40(11A):150-152.