基于DMD的全息光刻系统设计

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英文篇名：Design of Holographic Lithography System based on DMD 作者：付伟平 ; 李静 英文作者：FU Weiping;LI Jing;Department of Precision Machinery and Precision Instrumentation,University of Science and Technology of China; 关键词：全息光刻 ; DMD ; MATLAB 英文关键词：holographic lithography;;DMD;;MATLAB 中文刊名：XJXG 英文刊名：New Technology & New Process 机构：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 出版日期：2016-09-25 出版单位：新技术新工艺 年：2016 期：No.345 语种：中文; 页：XJXG201609010 页数：2 CN：09 ISSN：11-1765/T 分类号：28-29

摘要

设计搭建了一套基于DMD(Digital Micro-mirror Derice)的全息光刻系统,它包括光路和软件部分。在软件设计中,采用MATLAB语言编制基于博奇编码的计算全息图,以二维灰度光栅为例,对其进行了计算全息的设计和模拟再现,并通过实验再现了二维灰度光栅图案,验证了设计的合理性和可靠性。
        A holographic lithography system based on DMD(Digital Micro-mirror Device)is designed and constructed.This system includes optical and software component.In the software design,MATLAB language is used to generate CGH(Computer Generated Hologram)with the Burch encoding.As an example,design and reconstruction of two-dimensional gray grating are achieved by computation,and two-dimensional gray grating pattern is reconstructed by the experiment,which verifies the validity and reliability of the design.

引文

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