低成本、小型化微电工艺教学实验室建设

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英文篇名：The Construction of Low-cost and Miniaturized Microelectronic Processing Laboratory 作者：马铁英 ; 朱东朔 英文作者：MA Tie-ying;ZHU Dong-shuo;College of Optical and Electronic Technology, China Jiliang University;College of pharmacy, Fudan University; 关键词：微电子课程 ; 实验设备 ; 半导体工艺 英文关键词：microelectronics course;;experimental equipment;;semiconductor processing 中文刊名：DQDZ 英文刊名：Journal of Electrical & Electronic Education 机构：中国计量大学光学与电子科技学院;复旦大学药学院; 出版日期：2019-06-15 出版单位：电气电子教学学报 年：2019 期：v.41 基金：高校双创教育实践研究培育项目(SMPY1718);; 中国计量大学校级教学改革项目(HEX2016009) 语种：中文; 页：DQDZ201903034 页数：3 CN：03 ISSN：32-1487/TN 分类号：134-135+152

摘要

针对微电子工艺实验室造价维护成本高昂和非重点院校建设经费少的矛盾,本文提出了小型化、低成本的半导体工艺实验室建设模式,在控制成本的基础上尽可能完善实验设备,保证本科生实验教学质量,开设课程设计、微电子工艺实验及毕业设计,以教养教,培养符合用人单位标准的应用型人才。
        In view of the high cost of microelectronic processing laboratory construction and maintenance in contrast to low budget in common colleges and universities, miniaturized and low-cost semiconductor processing laboratory construction is proposed. On the basis of cost control, the equipmentis bought and improved to ensure the quality of undergraduate experimental teaching. The course design, the process experiments and graduation design are offered to cultivate applied talents that meet the standards of employers.

引文

[1]王蔚,田丽等.校内实验室开设微电子生产实习的探索[J].南京:电气电子教学学报. 2009,10:71-72.
    [2]梁齐,杨明武,刘声雷等.微电子工艺实验教学模式探索[J].天津:实验室科学,2008,(1).
    [3]王红航,张华斌等.“微电子工艺基础”教学的应用能力培养[J].南京:电气电子教学学报. 2009,31:117-118.