六氟丁二烯的制备、纯化及应用

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英文篇名：Preparation,Purification and Application of Hexafluorobutadiene 作者：金小贤 ; 夏致远 ; 张友圣 ; 孙猛 ; 金向华 英文作者：JIN Xiaoxian;XIA Zhiyuan;ZHANG Yousheng;SUN Meng;JIN Xianghua;Suzhou Jinhong Gas Co.,Ltd.; 关键词：六氟1 ; 3-丁二烯 ; 制备 ; 纯化 ; 应用 ; 市场 英文关键词：hexafluoro-1,3-butadiene;;preparation;;purification;;application;;market 中文刊名：DWTQ 英文刊名：Low Temperature and Specialty Gases 机构：苏州金宏气体股份有限公司; 出版日期：2018-02-28 出版单位：低温与特气 年：2018 期：v.36;No.179 语种：中文; 页：DWTQ201801006 页数：4 CN：01 ISSN：21-1278/TQ 分类号：29-32

摘要

六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述。
        Compared with traditional perfluorinated etchant gas,hexafluorobutadiene has the advantages of environmental friendliness,high etching accuracy and good selection as a dry etching gas. This paper introduces the preparation,purification and application of hexafluorobutadiene,and gives a brief description of its industrialized production status.

引文

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