飞秒激光数控微纳加工及服务平台组建关键技术

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英文篇名：Key Technology on NC Micro-nano Machining and Serving Platform by Femtosecond Laser 作者：宋一然 ; 陈庆堂 ; 林振衡 ; 唐群华 ; 林昌 ; 王富铮 英文作者：SONG Yiran;CHEN Qingtang;LIN Zhenheng;TANG Qunhua;LIN Chang;WANG Fuzheng;School of Mechanical and Electrical Engineering, Putian University; 关键词：飞秒激光 ; 数控 ; 微纳加工 ; 关键技术 英文关键词：femtosecond laser;;NC;;micro-nano machining;;key technology 中文刊名：PTGZ 英文刊名：Journal of Putian University 机构：莆田学院机电工程学院; 出版日期：2018-04-25 出版单位：莆田学院学报 年：2018 期：v.25;No.115 基金：福建省高校产学研科技项目(2014H6021);; 莆田市科技项目(2015G2013);; 福建省激光精密加工工程技术中心、现代光学测量与激光无损检测福建省高校重点实验室开放课题(2016JZA010) 语种：中文; 页：PTGZ201802012 页数：4 CN：02 ISSN：35-1261/Z 分类号：54-57

摘要

提出了以飞秒激光为光源,配合高精度的放大及光路、微加工数控系统,搭建了数控微纳加工及公共服务平台,探索了平台组建及加工应用中的关键技术问题,在玻璃、玉石等材料的实际微纳加工中取得了良好的应用效果。
        The NC micro-nano processing platform is put forward, which took the femtosecond laser as the light source. The high precision amplification-optical system is coordinated with micro machining system. The key technical problems for processing platform building and the machining application are explored. Good results of the micro-nano processing are achieved in the actual glass, jade and other materials.

引文

[1]陶海岩.飞秒激光固体材料表面微纳结构制备及其功能特性的研究[D].吉林:长春理工大学理学院,2014.
    [2]顾理,孙会来,于楷,等.飞秒激光微加工的研究进展[J].激光与红外,2013,43(1):14-18.
    [3]潘雪涛.飞秒激光微加工质量优化的若干问题研究[D].上海:上海大学机电工程与自动化学院,2017.
    [4]邢松龄,刘磊,邹贵生,等.飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响[J].中国激光,2015,42(4):37-42.
    [5]钟敏霖,李焱.“超快激光加工与微纳制造”专题前言[J].中国激光,2017,44(1):1-2.
    [6]陈庆堂.一种多向高效飞秒激光加工设备:CN206253805U[P].2017-06-16.
    [7]陈庆堂.一种简易高精飞秒激光加工器:CN206343763U[P].2017-07-21.