劈刀安装对换能系统性能的影响

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英文篇名：Influence of Bonding Tool Setting Height on Ultrasonic System 作者：崔海龙 ; 任思岩 ; 张永聪 ; 马生生 ; 赵喜清 ; 郝艳鹏 英文作者：CUI Hailong;REN Siyan;ZHANG Yongcong;MA Shengsheng;ZHAO Xiqing;HAO Yanpeng;The 2~(nd) Research Institute of CETC; 关键词：引线键合 ; 高频换能器 ; 工艺窗口 ; 劈刀 英文关键词：wire bonding;;Ultrasonic system;;Process window;;Bonding tool 中文刊名：DGZS 英文刊名：Equipment for Electronic Products Manufacturing 机构：中国电子科技集团公司第二研究所; 出版日期：2017-06-20 出版单位：电子工业专用设备 年：2017 期：v.46;No.264 基金：山西省国际科技合作计划项目(2015081023) 语种：中文; 页：DGZS201703005 页数：4 CN：03 ISSN：62-1077/TN 分类号：23-25+29

摘要

通过采用F&K超声检测系统检测劈刀的安装方式对超声换能系统的性能影响,从最基本的实验数据(谐振频率,相位及阻抗)出发,分析劈刀引起换能系统的非线性特性,为设备工艺窗口参数调节提供理论基础。
        Experimental results with F&K ultrasonic test system show the influence of bonding tool setting height on ultrasonic system. Experimental data such as resonant frequency, phase and impedance is helpful to nonlinear analysis of transducer system, and provide theoretical basis for process window adjustment of wire bonder.

引文

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