移动MES系统在半导体制造中的设计应用

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	英文篇名：Design and application of mobile MES system in semiconductor intelligent manufacturing 作者：沈瑾 ; 章熙峰 ; 劳立 英文作者：SHEN Jin;ZHANG Xi-feng;LAO Li; 关键词：MES(制造执行系统) ; PDA(掌上电脑) ; 智能制造 ; 半导体 ; 5G ; WIFI 中文刊名：JXGY 英文刊名：Manufacturing Automation 机构：无锡华润微电子有限公司; 出版日期：2019-01-25 出版单位：制造业自动化 年：2019 期：v.41 语种：中文; 页：JXGY201901005 页数：4 CN：01 ISSN：11-4389/TP 分类号：26-29

摘要

MES系统在半导体智能制造中已经开始广泛应用,在智能制造技术的背景下,依托5GWIFI网络平台,设计并实现了一种在PDA上可以操作的移动MES系统并投入某净化间实际使用,减少了人力成本,杜绝了手工输入的风险,取得了良好的效益。
        

引文

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