TFT-LCD工业中竖纹不良的研究与改善

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	作者：贾宜訸 ; 丁向前 ; 张小祥 ; 韩笑 ; 韩皓 ; 宋勇志 ; 陈维涛 中文刊名：ELEW 英文刊名：Electronics World 机构：北京京东方显示技术有限公司工艺开发部; 出版日期：2019-02-08 出版单位：电子世界 年：2019 期：No.561 语种：中文; 页：ELEW201903013 页数：3 CN：03 ISSN：11-2086/TN 分类号：18-20

摘要

<正>在8.5代线TFT-LCD制作中,发现模组点亮后出现沿数据线方向间隔1mm的竖纹Mura。拆屏后,阵列基板在钠灯下也可观察到类似亮线。通过一系列验证和分析,发现竖纹不良是由于1ITO掩膜版制作精度不足,导致1ITO显影后关键尺寸发生周期性变化引起的。提高1ITO掩膜版制作精度后,竖纹不良得到了解决。1引言目前,薄膜晶体管-液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid
        

引文

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