摘要
基于压电纤维复合材料特性研究,设计了一种新型的压电式微位移驱动器,它能够实现60μm的行程和亚微米量级的定位精度。对驱动器的电压-位移特性、分辨率以及迟滞和蠕变特性进行了实验研究,研究表明,相比于传统的压电陶瓷式微位移驱动器,这种新型的压电纤维微位移驱动器拥有更大的行程和更好的位移线性关系。本研究对压电纤维复合材料在微驱动方面的研究奠定了理论基础。
Based on the piezoelectric fiber composites,designed a new type of piezoelectric micro-actuator which has 60μm displacement and the positioning accuracy of submicron level. Analyzed the voltage-displacement characteristic,resolution,hysteresis and creep by experiments. The results show that the new type of micro-actuator has a bigger displacement and better linearity. The research has established the theoretical foundation for the study of piezoelectric fiber composites in micro-actuation.
引文
[1]薛实福.精密仪器设计[M].北京:清华大学出版社,1991.
[2]刘振波.微位移技术研究[D].长春:长春理工大学,2006(7).
[3]赵寿根,程伟.1-3型压电复合材料及其研究进展[J].力学进展,2002,32(1):57-68.
[4]李允.交叉指形电极驱动元件研究[D].南京:南京航空航天大学航空宇航学院,2008(7).
[5]李森.压电陶瓷微位移驱动器输出特性的研究[D].合肥:合肥工业大学,2007.
[6]范伟,余晓芬.压电陶瓷驱动器蠕变特性的研究[J].仪器仪表学报,2006,27(11):1383-1386.