微米印制技术中PDMS印章工艺的研究
摘要
采用Dow Corning公司的作为制作PDMS(Polydimethylsiloxan聚二甲基硅氧烷)为原材料,通过4英寸晶元腐蚀切割制成的Si印章模板,进而制作成相同尺寸的聚合物测试样品。实验研究了在不同温度,混合比例,凝固时间下所得到PDMS印章样品的结构强度,得到相对结构稳定,强度较高PDMS印章的制备工艺。并在此基础上研究印章结构(例如倾角,表面平整度或结构尺寸等)对所印制结构的影响,分析了制作硅模板和使用其生产PDMS印章工艺过程中参数对结构变化的各种影响,有利于得到更加精确的印制结构.
引文
[1]L Jay Guo,Recent progress in nanoimprint technology and its applications.Journal of Physics D:Applied Physics,12 May 2004 R123?R141
[2]Dietrich Widmann,Hermann Mader,Hans Friedrich,Technologie hochintegrierter Schaltungen,Springer,108-109
[3]Holger Schmitt,Untersuchung der UV-Nanoimprint-Lithografie als Strukturierungs-verfahren für elektronische Bauelemente,Universit?t Erlangen-Nürnberg.2008
[4]Khalil Khanafer,Ambroise Duprey,Marty Schlicht,Ramon Berguer,Effects of strain rate,mixing ratio,and stress-strain definition on the mechanical behavior of the polydimethylsiloxane(PDMS)material as related to its biological applications.
[5]C.Y.Hui,Constraints on Microcontact P r i n t i n g I m p o s e d b y S t a m p Deformation,Langmuir 2002,18,1394-1407
[2]Dietrich Widmann,Hermann Mader,Hans Friedrich,Technologie hochintegrierter Schaltungen,Springer,108-109
[3]Holger Schmitt,Untersuchung der UV-Nanoimprint-Lithografie als Strukturierungs-verfahren für elektronische Bauelemente,Universit?t Erlangen-Nürnberg.2008
[4]Khalil Khanafer,Ambroise Duprey,Marty Schlicht,Ramon Berguer,Effects of strain rate,mixing ratio,and stress-strain definition on the mechanical behavior of the polydimethylsiloxane(PDMS)material as related to its biological applications.
[5]C.Y.Hui,Constraints on Microcontact P r i n t i n g I m p o s e d b y S t a m p Deformation,Langmuir 2002,18,1394-1407