采用六西格玛方法提高三氟化硼气体纯度

详细信息    查看全文 | 推荐本文 |

英文篇名：Improving the Purity of Boron Trifluoride by Using Six Sigma Method 作者：任少科 英文作者：REN Shaoke;Zhonghao Guangming Research & Design Institute of Chemical Industry Co.,Ltd.; 关键词：六西格玛管理 ; 三氟化硼 ; 纯度 英文关键词：six sigma management;;boron trifluoride;;purity 中文刊名：DWTQ 英文刊名：Low Temperature and Specialty Gases 机构：中昊光明化工研究设计院有限公司; 出版日期：2019-06-28 出版单位：低温与特气 年：2019 期：v.37;No.187 语种：中文; 页：DWTQ201903002 页数：7 CN：03 ISSN：21-1278/TQ 分类号：9-15

摘要

高纯三氟化硼是半导体离子注入用的重要掺杂离子源,在电子工业中有着广泛的应用。采用六西格玛流程改善方法,通过D-定义、M-测量、A-分析、I-改进、C-控制五个阶段,找出影响三氟化硼纯度的主要因子,然后对因子进行改进,通过试运行后,最终将三氟化硼纯度从99. 5%提高到99. 95%。
        Highly purified boron trifluoride is an important doping ion source for semiconductor ion implantation. It is widely used in electronics industry. Taking the method which is improved by 6-Sigma procedure and through five stages of D-definition,M-measurement,A-analysis,I-improvement,and C-control,the main factors affecting purity of boron trifluoride is found out.According to the test,the purity of boron trifluoride is increased from 99. 5% to 99. 95% by improving these factors.

引文

[1]张素娇,田震,冯珍.六西格玛DMAIC方法在产品质量改进中的应用[J].科技管理研究,2010(11):176-179.
    [2]高淑芝,李少阳. Minitab软件在六西格玛统计质量控制方法中的应用[J].电子技术与软件工程,2017(6):70.
    [3]任玉明,陈志强.采用精益六西格玛管理降低氯乙烯合成反应气中乙炔的含量[J].聚氯乙烯,2011,39(5):36-40.