溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的研究

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英文篇名：Study on Preparation of Zinc Oxide Thin Films by Sol-Gel Method 作者：阮兴祥 ; 房慧 ; 黄灿胜 ; 张富春 ; 张威虎 ; 杨延宁 英文作者：Ruan Qingxiang;Fang Hui;Huang Cansheng;Zhang Fuchun;Zhang Weihu;Yang Yanning;College of physics and electronic engineering, Guangxi normal university;Yan'an university college of physics and electronic information;Communication and information engineering college of Xi'an university of science; 关键词：薄膜 ; 氧化锌 ; 溶胶-凝胶法 英文关键词：film;;zinc oxide;;sol-gel method 中文刊名：WDZC 英文刊名：Electronic Test 机构：广西民族师范学院物理与电子工程学院;延安大学物理与电子信息学院;西安科技大学通信与信息工程学院; 出版日期：2017-06-15 18:31 出版单位：电子测试 年：2017 期：No.368 基金：广西自然科学基金(2015GXNSFBA139014);; 2017年度广西高校中青年教师基础能力提升项目(2017KY0831);; 广西民族师范学院校级科研项目(2016QN002);广西民族师范学院中青年骨干教师科研启动项目(2014RCGG001);广西民族师范学院科研项目(XYYB2011025) 语种：中文; 页：WDZC201710052 页数：2 CN：10 ISSN：11-3927/TN 分类号：104-105

摘要

采用溶胶-凝胶法在锌片和硅片表面制备氧化锌薄膜。采用XRD、SEM等分析测试手段对比了不同的配置比和衬底对氧化锌薄膜的相组成和显微形貌的影响。实验结果表明:与Si片相比,Zn片衬底对样品的衍射峰幅度产生一定的影响;所制备出来的样品都在衍射角2θ=34.4°附近出现衍射峰;当Zn2+浓度不同时,得到的Zn O薄膜的形貌不同。
        The zinc oxide film was prepared on the surface of zinc sheet and the surface of silicon wafer by sol-gel method. The effects of different configuration ratio and substrate on the composition and microstructure of zinc oxide thin films were compared by XRD and SEM. The experimental results show that the Zn-based substrate has a certain effect on the diffraction peak amplitude of the samples compared with Si films. The prepared samples have diffraction peaks near the diffraction angle of 2θ = 34.4°. When the Zn2+ concentration is different, the morphology of Zn O thin films is different?

引文

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