浅谈多步扩散制备太阳电池PN结工艺

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英文篇名：Discussion on the Preparation of Solar Cell PN Junction by Multi-step Diffusion 作者：赵学玲 英文作者：Xueling Zhao;State key laboratory of photovoltaic material and technology,Yingli Group corporation limited; 关键词：多步扩散制备法 ; 太阳能PN结 ; 中间层技术 ; 隧穿结技术 英文关键词：Multi Step Diffusion Preparation;;Solar PN Junction;;Interlayer Technology;;Tunneling Junction Technology 中文刊名：DKJS 英文刊名：Electronic Science & Technology 机构：光伏材料与技术国家重点实验室,英利集团有限公司; 出版日期：2017-03-10 出版单位：电子科学技术 年：2017 期：v.04;No.17 语种：中文; 页：DKJS201702004 页数：4 CN：02 ISSN：10-1251/TN 分类号：18-20+23

摘要

针对太阳能电池PN结制备技术,本文分析工艺设计过程中,硅片磷浓度分布情况会给电池性能造成极大的影响。现有的太阳电池PN结制备工艺中,多步扩散制备工艺具有较强的应用优势,能够减少死层,增加电活性磷掺杂量。文中重点对多步扩散制备工艺的应用相关问题,以及硅基薄膜多结太阳能制备的其他工艺,做了简单的论述分析。
        In view of the solar cell PN junction preparation technology, the analysis of the process of the design process, the distribution of silicon phosphorus concentration will give a great impact on the performance of the battery. In the existing solar cell PN junction preparation process, the multi step diffusion preparation process has strong application superiority, can reduce the dead layer and increase the doping amount of the active phosphorus. In this paper, we focus on the problems related to the application of the multi step diffusion process and the other processes of the silicon-based thin film solar energy preparation.

引文

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