基于亚像素分析的光刻机照明系统光瞳参数检测方法
详细信息 查看官网全文
- 论文作者：刘志帆 ; 步扬 ; 徐静浩 ; 张建华 ; 王向朝
- 年：2016
- 作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海大学;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 语种：中文
- 分类号：TN305.7
- 学会代码：GNCS
- 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
- 会议地点：中国上海
- 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
- 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
- 页数：1
- 文件大小：9888k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>照明系统是光刻机的重要组成部分,其作用是为光刻机提供满足要求的照明模式。常用的照明模式包括传统照明、环形照明、二极照明和四极照明等,主要用于改善不同类型光刻图形的成像质量。照明光瞳的特性参数决定照明模式,对照明光瞳特性参数进行高精度检测是保障照明系统可靠性和稳定性的关键之一。目前照明光瞳特性参数测量主要是使用CCD采集光瞳图像,对图像进行系列计算
引文