基于银-氧化铟锡混合薄膜的近红外介电常数近零点和等离子体特性调谐的研究
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- 论文作者：陈超楠 ; 王哲玮 ; 伍科 ; 叶辉
- 年：2017
- 作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
- 会议召开时间：2017-05-25
- 会议录名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会会议论文集
- 语种：中文
- 分类号：O484
- 学会代码：XMJS
- 会议名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会
- 会议地点：中国福建厦门
- 主办单位：厦门大学物理科学与技术学院、浙江大学硅材料国家重点实验室
- 学会名称：厦门大学物理科学与技术学院
- 页数：2
- 文件大小：378k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>本文系统地描述了一系列银-氧化铟锡(Ag-ITO)共溅薄膜的制备和研究,通过调控薄膜中银的含量,获得了微观结构上的同质混合薄膜,此时少量掺杂的银的含量(<3 at.%)被证明具有最优值。同时,银的引入显著增强了ITO中In_2O_3多晶的择优取向,尤其反映在其(222)、(400)、(440)峰的强度提升。更有意义的是,混合薄膜的介电常数具有极大的可调谐性,即通过改变薄膜的成分及快速热退火处理,介电常数变零点波长(Cross-over point)及近零区域
引文
1.G.V.Naik,V.M.Shalaev,A.Boltasseva,“Alternative Plasmonic Materials:Beyond Gold and Silver,”Adv.Mater 25,3264–3294(2013).
2 .C.Rhodes,S.Franzen,et al,“Surface plasmon resonance in conducting metal oxides,”J.Appl.Phys.100,054905(2006).
3 .H.Sadeghi,A.Zolanvar,A.Ranjgar,“Optical properties of Si C/AZO plasmonic nano composite at infrared frequencies,”Opt.Quant.Electron.47,2793–2802(2015).
4 .G.Niklasson,C.Granqvist,and O.Hunderi,“Effective medium models for the optical properties of inhomogeneous materials,”Appl.Optics 20(1),26-30(1981).
5 .L.Dominici,F.Michelotti,T.Brown,et al,“Plasmon polaritons in the near infrared on fluorine doped tin oxide films,”Opt.Express 17(12),10155-10167(2009).
2 .C.Rhodes,S.Franzen,et al,“Surface plasmon resonance in conducting metal oxides,”J.Appl.Phys.100,054905(2006).
3 .H.Sadeghi,A.Zolanvar,A.Ranjgar,“Optical properties of Si C/AZO plasmonic nano composite at infrared frequencies,”Opt.Quant.Electron.47,2793–2802(2015).
4 .G.Niklasson,C.Granqvist,and O.Hunderi,“Effective medium models for the optical properties of inhomogeneous materials,”Appl.Optics 20(1),26-30(1981).
5 .L.Dominici,F.Michelotti,T.Brown,et al,“Plasmon polaritons in the near infrared on fluorine doped tin oxide films,”Opt.Express 17(12),10155-10167(2009).