考虑应变能密度的金属导线电迁移应力分析
详细信息 查看官网全文
- 论文作者：刘晴 ; 徐凯宇
- 年：2016
- 作者机构：上海大学上海市应用数学和力学研究所;上海大学理学院;
- 会议召开时间：2016-08-25
- 会议录名称：第十五届现代数学和力学学术会议摘要集（MMM-XV 2016）
- 语种：中文
- 分类号：TM24
- 学会代码：AGLU
- 会议名称：第十五届现代数学和力学学术会议
- 会议地点：中国福建厦门
- 主办单位：中国力学学会理性力学和力学中的数学方法专业委员会
- 学会名称：中国力学学会
- 页数：1
- 文件大小：519k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>随着纳米尺度晶体金属材料在大型集成电路中的运用越来越广泛,金属导线中的电迁移导致互连材料的失效越来越受到广泛的关注。研究表明,纳米级金属导线中有电流通过时,导线中的原子产生类似粘性流体的流通量。在导线中,化学势梯度或电子风引起金属原子的扩散行为,当扩散通量出现分歧时,材料中将
引文