微系统光学检测技术及航天应用
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- 论文作者：张国强 ; 孙琼阁 ; 辛燕
- 年：2016
- 作者机构：航天科工防御技术研究试验中心;北京电子工程总体研究所;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 语种：中文
- 分类号：V441
- 学会代码：GNCS
- 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
- 会议地点：中国上海
- 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
- 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
- 页数：1
- 文件大小：10110k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>微系统技术以微细加工技术为基础,将微传感器、微执行器和电子线路等高密度有机组合在一起,涉及光、机、电、热等多交叉学科领域。微系统技术目前发展迅速,正成为实现航天创新发展的重要支撑。探索微系统检测新技术、新原理、新方法是微系统研究的重要领域。微系统具有微型化、批量生产成本低、能耗低等特点。然而,随着微系统尺寸的缩小,也带来了
引文