基于斜入射方法的面形绝对检测技术研究
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- 论文作者：刘世杰 ; 周游 ; 白云波 ; 邵建达
- 年：2016
- 作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室检测中心;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 语种：中文
- 分类号：TH744.3
- 学会代码：GNCS
- 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
- 会议地点：中国上海
- 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
- 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
- 页数：1
- 文件大小：10110k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>高功率激光装置对输出总能量以及光斑精准性要求使光学元器件向极致化方向发展,更高精度检测技术研究也要先行发展。随着大口径光学元件波面误差加工质量的不断提高,现有检测方法的精度已接近元件的加工精度,特别对于大口径干涉仪相对检测方法而言,干涉仪自身标准镜引入的系统误差不能再忽略,需要研究更高精度的方法来标定和消除。国内外的研究人员已提出了大口径平面干涉仪标准镜的绝对检测
引文