基于二维振镜的多光谱集成靶标设计及应用
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摘要
<正>为了提高光轴平行性检测的精度,简化测量操作,设计了一种基于二维振镜的LED照明多光谱集成靶标。通过多光谱集成靶板与LED照明光源结合,克服了一靶专用中需要频繁更换、反复调校靶板及光源的问题,减少了误差因子;利用二维振镜进行对准提高了测量精度,实现了光轴平行性检测的自动化测量;采用经过像差优化的卡
引文

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