离子源复合真空镀膜成套装备、工艺及应用
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- 论文作者：林松盛 ; 代明江 ; 侯惠君 ; 周克崧 ; 韦春贝 ; 胡芳 ; 石倩 ; 李福球 ; 林凯生
- 年：2016
- 作者机构：广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室;
- 论文关键词：多功能镀膜装备 ; 离子源 ; 镀膜工艺 ; 工业应用
- 会议召开时间：2016-12-02
- 会议录名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会论文集
- 语种：中文
- 分类号：TG173
- 学会代码：ZKXH
- 会议名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会
- 会议地点：中国广东广州
- 主办单位：广东省振兴科技基金会、广东省真空学会
- 学会名称：广东省真空学会
- 页数：1
- 文件大小：41k
- 原文格式：O
- 会议级别：地方
摘要
为制备出高性能耐磨硬质薄膜,以满足我国加工制造业对该类薄膜的日益需求。本研究通过对离子源、磁控溅射和阴极电弧等多种技术的集成,设计并制造出一系列计算机全自动控制离子镀装备。实现了所研制装备的多功能性,即利用阳极层气体离子源进行镀前离子轰击清洁,使工件露出新鲜表面;根据需求有选择性地采用阴极电弧进行金属离子轰击;然后利用非平衡磁控溅射和离子源技术有机结合,制备出一系列综合性能优异的机械功能硬质薄膜:如1)用于精密工模具和关键部件的多层多相多尺度类金刚石复合膜和陶瓷膜等耐磨减摩功能薄膜,2)用于五金件和塑料件表面的TiN、ZrN和TiCN等耐磨装饰功能薄膜。重点研究了离子源技术及与其它技术的匹配,膜层沉积工艺与结构性能的关系,开发出一系列适合于提高精密工模具、关键部件使用寿命的机械功能硬质薄膜,并应用于机械制造、航空航天、汽车、船舶和五金等领域,提高相关部件的使用性能和服役寿命,起到了非常好的节约能源和提高效率的示范作用,可部分替代电镀工艺,对环境保护起到很好的作用。
引文