针孔式点衍射干涉仪的无镜成像方法研究
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- 论文作者：黄磊 ; 高志山
- 年：2016
- 作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 语种：中文
- 分类号：TH744.3
- 学会代码：GNCS
- 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
- 会议地点：中国上海
- 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
- 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
- 页数：1
- 文件大小：10136k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>针孔式点衍射干涉仪利用针孔衍射的球面波作为参考波面,比常规商用型斐索式干涉仪不可比拟的优势,测量准确度可达到亚纳米量级。干涉成像系统是针孔式点衍射干涉仪的重要组成部分,为被测件与CCD接收面提供共轭成像关系。为了保证点衍射干涉仪亚纳米级的测量准确度,对干涉成像系统的设计、加工与装调都提出了极高的要求。首先,干涉成像系统要求有极低的相干噪声,要求材料的杂质、麻点、划
引文