组合低空间频率计算全息检测深度非球面

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• 论文作者：窦健泰 ; 高志山 ; 杨忠明 ; 袁群
• 年：2016
• 作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
• 会议召开时间：2016-09-25
• 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
• 语种：中文
• 分类号：TH74
• 学会代码：GNCS
• 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
• 会议地点：中国上海
• 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
• 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
• 页数：1
• 文件大小：10487k
• 原文格式：D
• 会议级别：全国

摘要

<正>计算全息(Computer-Generated Hologram,CGH)是一种二元光学衍射元件,由于可生成任意形状的波前信息,使其适用于非球面的高精度检测。CGH主要应用在小非球面度以及小梯度变化的非球面面型检测中。但当需补偿的非球面为深度非球面,即面型偏差大或梯度变化快时,CGH相位面需要补偿的空间频率将会变的很高,过高的空间频率超过了现有CGH加工能力,使其无法加工或加工误差太大而不能高精度检测

引文