双波长斐索干涉测试中的多光束干涉相位提取
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- 论文作者：成金龙 ; 高志山 ; 袁群
- 年：2016
- 作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 语种：中文
- 分类号：O436.1
- 学会代码：GNCS
- 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
- 会议地点：中国上海
- 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
- 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
- 页数：1
- 文件大小：9765k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>双波长干涉解决了传统单波长干涉检测中2π相位模糊问题。然而,双波长斐索干涉仪测量反射系数较高的光学元件时会发生多光束干涉。合成波长相位通常采用多光束干涉算法分别解调单波长相位后求解获得,但其求解过程耗时且繁琐。为简化其处理过程,本文提出了一种结合被测相位整数和小数部分的合成波长相位求解算法
引文