超薄复合金刚石膜的研制
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- 论文作者：丁明清 ; 李莉莉 ; 胡健楠 ; 杜英华 ; 蔡军 ; 胡银富 ; 冯进军
- 年：2016
- 作者机构：北京真空电子技术研究所微波电真空器件技术国家重点实验室;
- 论文关键词：超纳米金刚石 ; 微米金刚石 ; 断裂强度 ; 传输损耗
- 会议召开时间：2016-08-23
- 会议录名称：2016真空电子学分会第二十届学术年会论文集（下）
- 语种：中文
- 分类号：TN124
- 学会代码：ZKDZ
- 会议名称：2016真空电子学分会第二十届学术年会
- 会议地点：中国福建厦门
- 主办单位：中国电子学会真空电子学分会、微波电真空器件国家级重点实验室
- 学会名称：中国电子学会真空电子学分会
- 页数：5
- 文件大小：436k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
太赫兹行波管用微米金刚石输能窗片的厚度接近100μm甚至几十μm,带来了机械强度与气密性问题。我们设计并研制了一种100μm厚的超纳米和微米复合金刚石膜。测试结果表明,断裂强度和气密性明显优于微米金刚石膜。利用复合膜制成的两个180GHz输能窗的测试表明,在175-185GHz频率范围内,传输损耗分别为1.22 d B和1.71 d B,电压驻波比(VSWR)都小于或等于1.45。这种复合膜的研制提供了一种制备高机械强度、超薄的金刚石膜的方法,同时为提高太赫兹行波管用输能窗的传输性能和可靠性奠定基础。
引文
[1]J.H.Booske,R.J.Dobbs,C.D.Joye,C.L.Kory,G.R.Neil,G.Park,J.Park,and R.J.Temkin,Vacuum electronics high power terahertz sources,IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology,1(1)(2011)54-75
[2].Roland Heidinger,Gunter Dammertz,Andreas Meier and Manfred K.Thumm CVD Diamond Windows Studied With Lowand High-Power Millimeter Waves IEEE Transactions on Plasma Science,Vol.30,No.3,June,2002,pp800-807
[3]丁明清,陈长青,白国栋,李含雁,冯进军,胡银富无支撑、光学级MPCVD金刚石膜的研制真空科学与技术,2011,Vol.6
[4]Ming Q.Ding,Lili Li and Jinjun Feng,A study of of free standing diamond films for mm TWTs,Appl.Surf.Sci.,258(2012)5987-5991
[5]Jun Cai,Jinjun Feng,Yinfu Hu,Development of W-band folded waveguide plused TWT,Proc.IVEC,(2013)Session 8B
[6].Yinfu Hu,Jinjun Feng,Jun Cai,Yinhua Du,Ye Tang and Xianping Wu Performance Enhancement of W-band CW TWT Proceeding of IVEC2011,Bangalore,India,p21-22
[7]B.Dischler and C.wild,Low-pressure synthetic diamond:manufacturing and applications,Springer Verlag,Heidelberg,1998,p189-205.
[8]H.D.Espinosa,B.Peng,B.C.Prorok,N.Moldovan,O.Auciello,J.A.Carlisle,D.M.Gruen,and D.C.Mancini,Fracture strength of ultrananocrystalline diamond thin films-identification of weibull parameters,J.Appl.Phys.,94(2003)6076-6084
[9]D.M.Springmann,S.J.Ho,J.H.Booske,S.M.Drezdzon,J.J.Lipor,Potenial applications of nanocrystalline diamond film for W-band vacuum windows,Proc.IVEC,(2008)143-144.
[2].Roland Heidinger,Gunter Dammertz,Andreas Meier and Manfred K.Thumm CVD Diamond Windows Studied With Lowand High-Power Millimeter Waves IEEE Transactions on Plasma Science,Vol.30,No.3,June,2002,pp800-807
[3]丁明清,陈长青,白国栋,李含雁,冯进军,胡银富无支撑、光学级MPCVD金刚石膜的研制真空科学与技术,2011,Vol.6
[4]Ming Q.Ding,Lili Li and Jinjun Feng,A study of of free standing diamond films for mm TWTs,Appl.Surf.Sci.,258(2012)5987-5991
[5]Jun Cai,Jinjun Feng,Yinfu Hu,Development of W-band folded waveguide plused TWT,Proc.IVEC,(2013)Session 8B
[6].Yinfu Hu,Jinjun Feng,Jun Cai,Yinhua Du,Ye Tang and Xianping Wu Performance Enhancement of W-band CW TWT Proceeding of IVEC2011,Bangalore,India,p21-22
[7]B.Dischler and C.wild,Low-pressure synthetic diamond:manufacturing and applications,Springer Verlag,Heidelberg,1998,p189-205.
[8]H.D.Espinosa,B.Peng,B.C.Prorok,N.Moldovan,O.Auciello,J.A.Carlisle,D.M.Gruen,and D.C.Mancini,Fracture strength of ultrananocrystalline diamond thin films-identification of weibull parameters,J.Appl.Phys.,94(2003)6076-6084
[9]D.M.Springmann,S.J.Ho,J.H.Booske,S.M.Drezdzon,J.J.Lipor,Potenial applications of nanocrystalline diamond film for W-band vacuum windows,Proc.IVEC,(2008)143-144.