半导体激光器光束准直微透镜的研究
摘要
本文提出了一种利用微透镜对半导体激光器光束进行准直的方法。同时也介绍了微透镜制作技术，进而对微透镜准直系统进行设计，并给出了设计结果。
本文首先在第二章对半导体激光器输出光束的性质进行研究，为准直系统的设计奠定基础。然后在第三章对微透镜的制作工艺进行研究，以明确准直系统的加工方法与加工精度。在第四章，结合前两章的结论利用ZEMAX光学设计软件对半导体准直方案进行了设计。最后，进行全文总结，并对本文的进一步研究做出展望。本文提出的这种半导体激光器光束准直的新方法，具有一定的创新意义与实用价值。
In this paper, a method on semiconductor laser beam collimation using the microlens is given. Meanwhile, the manufacturing technique of microlens and the design of collimation system are expatiated and the relevant parameters of the design are offered.
The beam characteristics of semiconductor laser are studied in the second chapter and a foundation for the beam collimation system is set up. In the third chapter, the study of fabrication technique of microlens is given to show the fabrication method and precision of the collimation system. In the fourth chapter, the design of collimation system is carried out by using Zemax software through the content combination of second chapter and third chapter. At last, a comprehensive summery and the prospect on further study are given. The method on the semiconductor laser beam collimation put forward in this paper is totally new, and proved to be creative and effective.
本文首先在第二章对半导体激光器输出光束的性质进行研究，为准直系统的设计奠定基础。然后在第三章对微透镜的制作工艺进行研究，以明确准直系统的加工方法与加工精度。在第四章，结合前两章的结论利用ZEMAX光学设计软件对半导体准直方案进行了设计。最后，进行全文总结，并对本文的进一步研究做出展望。本文提出的这种半导体激光器光束准直的新方法，具有一定的创新意义与实用价值。
In this paper, a method on semiconductor laser beam collimation using the microlens is given. Meanwhile, the manufacturing technique of microlens and the design of collimation system are expatiated and the relevant parameters of the design are offered.
The beam characteristics of semiconductor laser are studied in the second chapter and a foundation for the beam collimation system is set up. In the third chapter, the study of fabrication technique of microlens is given to show the fabrication method and precision of the collimation system. In the fourth chapter, the design of collimation system is carried out by using Zemax software through the content combination of second chapter and third chapter. At last, a comprehensive summery and the prospect on further study are given. The method on the semiconductor laser beam collimation put forward in this paper is totally new, and proved to be creative and effective.
引文
1．余金中．半导体光电子技术．北京：化学工业出版社，2003：绪论
2．杨国光，沈亦兵，候西云．微光学技术及其发展．红外与激光工程．2001，4(30)：158～159
3．孔令彬，易新建，申毕红等．微透镜及其应用简介．红外技术．2002，2(24)：18～20
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