化学沉积稀土多元钴基软磁薄膜结构和性能的研究
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摘要
本文采用正交实验和回归分析的方法，确定了稀土化学沉积Co-Ni-B-RE、Co-Fe-B-RE多元钴基软磁薄膜的工艺流程、镀液配方和实验参数，并通过对合金镀层的成分含量测定、形貌结构分析和力学磁学性能评估，研究了稀土元素、超声波、磁场介入化学沉积多元钴基软磁薄膜工艺后，对合金成分、结构和性能的作用机制。结果显示化学沉积Co-Ni-B、Co-Fe-B工艺在稀土元素(Ce、La、Y、Dy)、能量(超声波、磁场)介入后，沉积过程、合金成分、镀层形貌结构和性能都有显著变化，表现在：镀液的阴极极化过电位和极化度降低，沉积速度提高；镀层的结合力、表面质量改善；镀层中过渡族元素的含量增加，轻元素硼的含量降低，同时证实了稀土元素与过渡族元素共沉积的可能性；镀层的显微结构由非晶态向微晶和多晶态转变；镀层的显微硬度与耐磨性提高，力学性能优化；镀层的矫顽力降低；磁导率提高；镀层的磁化强度在能量(超声波、磁场)和轻稀土元素Ce、La介入后提高，重稀土元素Y介入后降低。此外当合金镀层经250℃和500℃热处理后，薄膜性能变化：力学性能改善；Hc增加；Ms、μ在250℃热处理时提高、在500℃热处理时降低。
This paper determines the technological process, bath formularizstion and experimental parameter of electroless multicomponent cobalt based soft magnetic film with rare earth elements joined such as Co-Ni-B-RE and Co-Fe-B-RE by the means of perpendicular experiment and regression analysis. This paper also studies the active mechanism of rare earth elements, ultrasonic irradiation and magnetic field on the plating process, chemical component, surface configuration, microstructure and properties of electroless multicomponent cobalt based soft magnetic film in the way of examining in the component, microstructure and properties of such alloy. The result shows that with the addition of rare earth elements, ultrasonic irradiation and magnetic field, the chemical component, surface configuration, microstructure and properties of electroless Co-Ni-B and Co-Fe-B alloy changes remarkably. Such kind of change can be described as the followings. Firstly the depositing speed of electroless alloy bath is raised while the
polarizability and cathodic overpotential are reduced; Secondly the surface quality of the alloy coating and adhesion of the coating and matrix are improved; Thirdly in the coatings the content of the elements in the transient group increases, but the content of cobalt decreased; Fourthly the amorphous structure is transformed to microcrystal structure and polycrystal structure; Fifthly the microhardness and wear resistance of the coating are enhanced; Sixthly coercitive force is reduced, and magnetoconductivity of the coating is increased; Lastly the magnetic intensity of the coating increases with the addition of energy and light rare earth elements such as Ce, La and decreases with the addition of heavy rare earth elements such as Y. On the other side, when the alloy coatings passes through the heat treatment under the temperature of 250℃ or 500℃, their properties will change. Such point can also be concluded as the followings: At first, their mechanical behavior will be improved; Then the value of He wi
ll be raised; And finally the values of their Ms and u will increase under the temperature of 250℃, but decrease under the temperature of 500℃.
This paper determines the technological process, bath formularizstion and experimental parameter of electroless multicomponent cobalt based soft magnetic film with rare earth elements joined such as Co-Ni-B-RE and Co-Fe-B-RE by the means of perpendicular experiment and regression analysis. This paper also studies the active mechanism of rare earth elements, ultrasonic irradiation and magnetic field on the plating process, chemical component, surface configuration, microstructure and properties of electroless multicomponent cobalt based soft magnetic film in the way of examining in the component, microstructure and properties of such alloy. The result shows that with the addition of rare earth elements, ultrasonic irradiation and magnetic field, the chemical component, surface configuration, microstructure and properties of electroless Co-Ni-B and Co-Fe-B alloy changes remarkably. Such kind of change can be described as the followings. Firstly the depositing speed of electroless alloy bath is raised while the
polarizability and cathodic overpotential are reduced; Secondly the surface quality of the alloy coating and adhesion of the coating and matrix are improved; Thirdly in the coatings the content of the elements in the transient group increases, but the content of cobalt decreased; Fourthly the amorphous structure is transformed to microcrystal structure and polycrystal structure; Fifthly the microhardness and wear resistance of the coating are enhanced; Sixthly coercitive force is reduced, and magnetoconductivity of the coating is increased; Lastly the magnetic intensity of the coating increases with the addition of energy and light rare earth elements such as Ce, La and decreases with the addition of heavy rare earth elements such as Y. On the other side, when the alloy coatings passes through the heat treatment under the temperature of 250℃ or 500℃, their properties will change. Such point can also be concluded as the followings: At first, their mechanical behavior will be improved; Then the value of He wi
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引文
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