平面线圈式石英挠性加速度计的前期研究
|
摘要
加速度计是惯性导航系统的关键部件之一，石英挠性加速度计因体积小、响应快、灵敏度高等优点，在我国航空航天、交通运输等领域都得到了广泛应用。最近十多年来，我国在武器研究领域，特别是短程导弹、运载火箭以及新式拦截武器方面取得了非常大的进步，但是作为导航装置的核心部件，石英挠性加速度计多数仍然是仿制西方发达国家的早期产品，且其中不少关键工艺都存在问题，产品性能距离世界先进水平还存在很大的差距。因此，深入研究石英挠性加速度计，对我国惯性导航技术的自主发展有着非常重要的意义。
本课题的主要工作包括：通过分析原有石英挠性加速度计存在的稳定性问题，对平面线圈式石英挠性加速度计的整体结构、加工工艺进行设计，并完成最终制作；对加速度计的伺服电路进行设计；组装样机，对样机进行功能性测试。
本文共分六章：
第一章综述石英挠性加速度计的发展现状和存在的问题，并以此为背景，提出课题主要的研究目标和内容。
第二章通过对课题研究目标和相关关键技术的具体分析，阐述平面线圈式石英挠性加速度计的总体设计方案。
第三章着重从挠性支承、平面线圈、磁极和磁芯等几个方面具体阐述加速度计的结构设计方案和加工工艺。
第四章设计模拟伺服电路，并对最终电路的性能进行测试。
第五章详细介绍加速度计样机的装配工艺，进行功能测试，并对测试结果进行分析。
第六章对整个课题进行总结。
本课题的创新点在于：制作粘结型超顺磁磁芯，用于新型通电线圈磁场支承装置，可以有效增强磁场强度，并且没有磁滞；利用光刻工艺在摆片上制作平面螺旋线圈作为力矩线圈，不仅解决了原来粘接工艺复杂，粘接后易老化失效的问题，也有效的减小了摆片的质量。
The silicon flexural accelerometer, which is the most important component of the inertial navigation system, is used abroad on navigation and spaceflight field, traffic and transportation field for its little cubage, fast response, high sensitivity In the recent several years, our country acquired rapid progress in the weapon research field especially in the short range guided missile, carrier rocket, new celerity intercept weapon and so on. As the kernel components of the inertial navigation system, our country's silicon flexural accelerometer still depend on the copy the West's advanced products, at the same time, there are many pivotal technics that we can not do well, the performance of our own products is dropped behind the replicated products very much. It's very valuable to lucubrate the silicon flexural accelerometer, for the independent development of our inertial navigation technology.
The mostly work of this task is investigating the problem of long-term stability in the presently conventional silicon flexural accelerometer and designing the new silicon flexural accelerometer based on plane helix's whole fabric and manufacture technics, designing the serve control system circuit, assembling the sample machine and testing it.
The thesis is composed of six chapters as following:
Chapter 1 summarizes the development actuality and the existent problem presently of the silicon flexural accelerometer, the objects and tasks of this thesis are also put forward on the foundation above.
Chapter 2 detailedly expatiates the whole designation scheme of the new silicon flexural accelerometer based on plane helix by strictly analyzing the research object and relative key techniques.
Chapter 3 expatiates the fabric and manufacture technics especially on the flexure joint, helix printing, magnetic pole machining, magnetic core making.
Chapter 4 brings forward the designing method of the absolute component serve circuit by analyzing the conventional silicon flexural accelerometer serve circuit and introduces the performance of this circuit.
Chapter 5 expatiates the assemblage of the whole accelerometer system, and introduces the system's performance.
Chapter 6 summarizes and expects the research in this thesis.
Innovation of this thesis can be summed to the aspects as following:
The felt superparamagnetic iron oxide magnetic core used in the new magnetic supporting equipment can enhance the magnetic induction strength effectively, and has no hysteresis loss, but the superparamagnetic material's special characteristics determine the magnetic core's manufacture technics would be very difficult. It's a new apply of the superparamagnetic material in magnetic core. Machining plane helix to replace the conventional moment helix reduces the difficulty of adhibiting technics, and reduces the quality of the silicon flake effectively.
本课题的主要工作包括：通过分析原有石英挠性加速度计存在的稳定性问题，对平面线圈式石英挠性加速度计的整体结构、加工工艺进行设计，并完成最终制作；对加速度计的伺服电路进行设计；组装样机，对样机进行功能性测试。
本文共分六章：
第一章综述石英挠性加速度计的发展现状和存在的问题，并以此为背景，提出课题主要的研究目标和内容。
第二章通过对课题研究目标和相关关键技术的具体分析，阐述平面线圈式石英挠性加速度计的总体设计方案。
第三章着重从挠性支承、平面线圈、磁极和磁芯等几个方面具体阐述加速度计的结构设计方案和加工工艺。
第四章设计模拟伺服电路，并对最终电路的性能进行测试。
第五章详细介绍加速度计样机的装配工艺，进行功能测试，并对测试结果进行分析。
第六章对整个课题进行总结。
本课题的创新点在于：制作粘结型超顺磁磁芯，用于新型通电线圈磁场支承装置，可以有效增强磁场强度，并且没有磁滞；利用光刻工艺在摆片上制作平面螺旋线圈作为力矩线圈，不仅解决了原来粘接工艺复杂，粘接后易老化失效的问题，也有效的减小了摆片的质量。
The silicon flexural accelerometer, which is the most important component of the inertial navigation system, is used abroad on navigation and spaceflight field, traffic and transportation field for its little cubage, fast response, high sensitivity In the recent several years, our country acquired rapid progress in the weapon research field especially in the short range guided missile, carrier rocket, new celerity intercept weapon and so on. As the kernel components of the inertial navigation system, our country's silicon flexural accelerometer still depend on the copy the West's advanced products, at the same time, there are many pivotal technics that we can not do well, the performance of our own products is dropped behind the replicated products very much. It's very valuable to lucubrate the silicon flexural accelerometer, for the independent development of our inertial navigation technology.
The mostly work of this task is investigating the problem of long-term stability in the presently conventional silicon flexural accelerometer and designing the new silicon flexural accelerometer based on plane helix's whole fabric and manufacture technics, designing the serve control system circuit, assembling the sample machine and testing it.
The thesis is composed of six chapters as following:
Chapter 1 summarizes the development actuality and the existent problem presently of the silicon flexural accelerometer, the objects and tasks of this thesis are also put forward on the foundation above.
Chapter 2 detailedly expatiates the whole designation scheme of the new silicon flexural accelerometer based on plane helix by strictly analyzing the research object and relative key techniques.
Chapter 3 expatiates the fabric and manufacture technics especially on the flexure joint, helix printing, magnetic pole machining, magnetic core making.
Chapter 4 brings forward the designing method of the absolute component serve circuit by analyzing the conventional silicon flexural accelerometer serve circuit and introduces the performance of this circuit.
Chapter 5 expatiates the assemblage of the whole accelerometer system, and introduces the system's performance.
Chapter 6 summarizes and expects the research in this thesis.
Innovation of this thesis can be summed to the aspects as following:
The felt superparamagnetic iron oxide magnetic core used in the new magnetic supporting equipment can enhance the magnetic induction strength effectively, and has no hysteresis loss, but the superparamagnetic material's special characteristics determine the magnetic core's manufacture technics would be very difficult. It's a new apply of the superparamagnetic material in magnetic core. Machining plane helix to replace the conventional moment helix reduces the difficulty of adhibiting technics, and reduces the quality of the silicon flake effectively.
引文
[1] 王武立．石英挠性伺服加速度计的原理和应用．世界电子元器件，1996．10
[2] 滕召胜．电磁力平衡传感器的永磁体性能影响与改善方法．仪表技术与传感器，2000．04
[3] 谢东，刘庆想．平面螺线外的磁场研究．大学物理，2005．09
[4] 张建雄，孙宝元．高线性非接触式电容位移传感器．仪表技术与传感器， 2006．01
[5] 王雷，王保良．电容传感器新型微弱电容测量电路．传感技术学报，2002．12
[6] 吴学忠，肖定邦．电容式微加速度计的闭环检测技术研究．传感技术学报， 2006．08
[7] 张效岩，王英．磁性纳米粒子的制备及应用．纳米材料及器件，2004．12
[8] 李宇农，何建军．纳米金属粉末研究进展．粉末冶金工业，2004．02
[9] 高钟毓．静电陀螺仪技术．清华大学出版社，2004．08
[10] 李家文，李道奎．冲击波作用下悬臂梁瞬态响应的传递函数方法．振动与冲击，2007．03
[11] 裴荣，周百令．高精度石英振梁加速度计挠性支承设计研究．中国惯性技术学报，2006．10
[12] 曾受金，江吉彬．基于ANSYS分析的悬臂梁结构优化设计．机电技术，2006．04
[13] 曹妍妍，赵登峰．间隙约束悬臂梁系统的动力学行为实验研究．振动与冲击，2007．04
[14] 肖世富，陈滨．挠性根部梁的动力学建模．力学与实验，2005．11
[15] 关家亮，郭东明．熔融石英高效精密磨削技术的研究．磨床与磨削，2000．01
[16] 周岩，刘晓胜．熔融石英激光切割表面形貌的研究．激光杂志，2003．03
[17] 王顺权，周常河．深刻蚀高密度熔融石英光栅．中国激光，2006．02
[18] 贾翠红．石英挠性加速度计摆片断裂特性研究．福建师范大学学报，2000．03
[19] 周岩，刘晓胜．石英器件加工工艺及最新进展．中国机械工程，2000．06
[20] 李疆，高钟毓．微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究．传感器技术，2003．09
[21] 金大重，李昕欣．微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析．传感技术学报，2007．01
[22] 张建，金志华．新型挠性支承结构及其加工方法．中国惯性技术学报，2003．02
[23] 近藤恭平．用梁理论解析双悬臂梁试件．玻璃钢/复合材料，1999．02
[24] 刘德明，王静辉．KrF光刻工艺技术．制造技术，2006．08
[25] 王海涌，吴志华．玻璃基片双面光刻对准工艺流程的研究．制造技术，2006．08
[26] 刘忠安．光刻工艺参数的优化方法．半导体光电，2001．02
[27] 姜军，周芳．光刻技术的现状和发展．红外技术，2002．11
[28] 肖啸，刘世杰．光刻技术发展现状分析．乐山师范学院学报，2004．05
[29] 何存富，冯喜旺．光刻技术在PVDF压电薄膜电极制作中的应用．传感器与微系统，2006．10
[30] 郑金红．光刻胶的发展及应用．精细与专用化学品，2006．08
[31] 童志义．光学光刻的极限．电子工业专用设备，2004．02
[32] 王相森．光学光刻技术的发展历程及趋势．微处理机，2002．11
[33] 唐雄贵，姚欣．烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响．微细加工技术，2005．09
[34] 郑晓虎．环氧基负性光刻胶加工微结构的试验研究．光电工程，2006．11
[35] 冯晓国，方梁．金属网栅结构参数设计与制作．光学精密工程，2005．02
[36] 张飞，李艳秋．浸没式ArF光刻系统中光学因素对L形图形的影响．微细加工技术，2006．06
[37] 唐晓莉，苏桦．平面薄膜电感的研究与开发现状．磁性材料及器件，2003．04
[38] 冯伯儒，张锦．微光刻技术的发展．精细加工技术，2000．01
[39] 姜政，丁桂甫．微加工厚光刻胶掩膜电镀工艺研究．电镀与涂饰，2005．07
[40] 陈大鹏，叶甜春．现代光刻技术．核技术，2004．02
[41] 杨向荣，张明．新型光刻技术的现状与进展．材料导报，2007．05
[42] 邵新勋，狄国庆．掩膜法制备薄膜电感．功能材料与器件学报，2003．03
[43] 赵红卫．用于光刻的EUV光源．半导体技术，2007．01
[44] Geoffrey Phillipps,Rudy Pellens,用于图像传感器制造的光刻技术．中国集成电路，2007．01
[45] 罗铂靓，杜惊雷．用于微器件加工的AZ4620厚胶光刻工艺研究．半导体技术，2005．07
[46] 顾英．惯导加速度计技术综述．飞航导弹，2001．06
[47] 张效岩，王英．磁性纳米粒子的制备及应用．磁性材料及器件，2004．12
[48] 沈良，江国华．磁性纳米功能材料研究进展．杭州师范学院院报，2001．10
[49] 滕召胜．电磁力平衡传感器的永磁体性能影响与改善方法．仪表技术与传感器，2000．10
[50] 关英勋，房大维．纳米磁性材料研究现状．渤海大学学报，2004．09
[51] 杨欣，施利毅．纳米复合电磁线绝缘材料制备和表征．上海大学学报，2003．11
[52] 李宇农，何建军．纳米金属粉末研究进展．粉末冶金工业，2004．12
[53] 刘学忠．纳米无机粉末填充电磁线漆的介电特性研究．中国电机工程学报，2004．10
[54] 崔升，沈晓冬．四氧化三铁纳米粉的制备方法及应用．无机盐工业，2005．02
[55] 郝晓红，梅雪松．新型磁悬浮精密定位平台的研究．西安交通大学学报，2005．09
[56] 毕见强，孙康宁．磁性材料的研究和发展趋势．山东大学学报，2003．06
[57] 刘亚丕．高性能永磁材料磁性测量若干问题探讨．磁性材料及器件，2006．02
[58] 廖秋慧，王伟．纳米复合NdFeB永磁材料的研究进展．热加工技术，2005．10
[59] 李震，邱进军．软磁材料矫顽力的高精度测量方法研究．磁性材料及器件，2001．04
[60] 黄丽．粘结NdFeB磁体的制备工艺．复合材料学报，2006．08
[61] 段柏华．注射成形法制备高性能粘结NdFeB磁体．中国有色金属学报，2004．10
[62] 沈文娟，王宝奇．制备工艺对粘结NdFeB永磁体性能的影响．新技术新工艺，2003．09
[63] 张春京，原俊安．从加速度测试技术研究看惯性仪表测试技术发展趋势．航天控制，2005．04
[64] 朱红生，王巍．大量程石英挠性加速度计结构设计与研究．导航与控制，2005．05
[65] 唐富荣，薛大同．六轴加速度计的结构原理与阻尼振动设计．传感技术学报，2002．12
[66] 王晓东，李丹东．石英挠性摆式加速度计零位问题研究．导航与控制，2004．02
[67] 安金刚，王君．石英挠性加速度计精密离心测试的非线性系数重复性探讨．战术导弹控制技术，2006．02
[68] 贾建援，仇原鹰．石英挠性加速度计抗恶劣环境能力的分析．西安电子科技大学学报，1996．12
[69] 赵连元．石英挠性加速度计目前测量方法的局限性分析．战术导弹控制技术，2005．02
[70] 张兰，刘永远．石英挠性加速度计输出饱和故障分析．战术导弹控制技术，2005．01
[71] 何崴．提高石英挠性摆式加速度计可靠性的技术途径．导弹与航天运载技术，1998．06
[72] 王雷，王保良．电容传感器新型微弱电容测量电路．传感技术学报，2002．12
[73] 吴学忠，肖定邦．电容式为加速度计的闭环检测技术研究．传感技术学报，2006．08
[74] 孙立宁，晏祖根．电容式微位移传感器检测电路的设计．机械与电子，2005．01
[75] 张斌斌，从培田．电容式位移传感器转换电路的设计．仪表技术与传感器，2002．11
[76] 王俊杰，罗裴．高灵敏度差分电容检测电路的研究．武汉理工大学学报，2004．09
[77] 汤继强，孙枫．基于差动电容的超导陀螺转子偏移测量研究．哈尔滨工程大学学报，2005．06
[78] 李阳．交流型微小电容测量电路的介绍．冶金自动化，2004．12
[79] 刘海涛，温志渝．电容式微加速度传感器信号处理电路的设计．传感技术学报，2006．10
[80] 张建雄，孙宝元．高线性非接触式电容位移传感器．仪表技术与传感器，2006．01
[81] 金晓洁，邹永顺．惯性元件环氧树脂浇注工艺的探讨．中国惯性技术学报，2000．06
[82] 张鹏飞，龙兴武．石英挠性加速度计误差补偿模型的研究．传感技术学报，2006．08
[83] 满顺强，丁杨斌．数字滤波在加速度计中的工程应用．传感器世界，2006．09
[84] 王立文，国琳娜．惯性测量装置标定技术研究．鱼雷技术，2003．03
[85] John D. Kraus. A helical-beam antenna without a ground plane. IEEE antennas and propagation magazine, 1995.04
[86] K. Harada, I. Sasada. DC magnetizing effect in the toroidal core. IEEE transactio-ns on magnetics, 1979.11
[87] Chang-Hyeon Ji, Si-Hong Ahn. Dual-axis electromagnetic scanning micromirror using radial magnetic field. MEMS 2006, Istanbul, Turkey, 2006.01
[88] Ming-Chu Wu, Der-Ray Huang. Magnetic circuit analysis of magnetizing fixtu-re for a ring magnet in two-axis optical gyroscope. IEEE Transactions on magnetics, 1993.11
[89] Feng-Tian Han, Zhong-Yu Gao. A differential capacitance to voltage converter for electrostatic levitation applications. Sensors and Actuators, 2002
[90] Henrik Rodjegard, Anders Loof. A differential charge-transfer readout circuit for multiple output capacitive sensors. Sensors and Actuators, 2005
[91] Joost C. Lotters,Wouter Olthuis. A sensitive differential Capacitance to voltage converter for sensor applications. IEEE Transactions on instrumentation and measurement, 1999.02
[92] Lu-Feng Che, Bin Xiong. Effects of bias voltage polarity on differential capacitive sensitive devices. Sensors and Actuators, 2004
[93] P. touboul, A. Bernard. Electrostatic accelerometers for the equivalence principle test in space. Instrumentation and space division, 2003.07
[94] Isabelle Bord, Pascal Tardy. Influence of the electrodes configuration on a differential capacitive rain sensor performances. Sensors and Actuators, 2005.06
[95] Ping Wang, Shang-Shu Duan. Research on the dynamic test method for force-balance accelerometers with electic stimulation. Sensors and Actuators, 1996
[96] Mahmut Onur Karslioglu. Thermodynamical parasitic forces in high precision accelerometers on board of a drag-free satellite. Sensors and Actuators, 2004
[2] 滕召胜．电磁力平衡传感器的永磁体性能影响与改善方法．仪表技术与传感器，2000．04
[3] 谢东，刘庆想．平面螺线外的磁场研究．大学物理，2005．09
[4] 张建雄，孙宝元．高线性非接触式电容位移传感器．仪表技术与传感器， 2006．01
[5] 王雷，王保良．电容传感器新型微弱电容测量电路．传感技术学报，2002．12
[6] 吴学忠，肖定邦．电容式微加速度计的闭环检测技术研究．传感技术学报， 2006．08
[7] 张效岩，王英．磁性纳米粒子的制备及应用．纳米材料及器件，2004．12
[8] 李宇农，何建军．纳米金属粉末研究进展．粉末冶金工业，2004．02
[9] 高钟毓．静电陀螺仪技术．清华大学出版社，2004．08
[10] 李家文，李道奎．冲击波作用下悬臂梁瞬态响应的传递函数方法．振动与冲击，2007．03
[11] 裴荣，周百令．高精度石英振梁加速度计挠性支承设计研究．中国惯性技术学报，2006．10
[12] 曾受金，江吉彬．基于ANSYS分析的悬臂梁结构优化设计．机电技术，2006．04
[13] 曹妍妍，赵登峰．间隙约束悬臂梁系统的动力学行为实验研究．振动与冲击，2007．04
[14] 肖世富，陈滨．挠性根部梁的动力学建模．力学与实验，2005．11
[15] 关家亮，郭东明．熔融石英高效精密磨削技术的研究．磨床与磨削，2000．01
[16] 周岩，刘晓胜．熔融石英激光切割表面形貌的研究．激光杂志，2003．03
[17] 王顺权，周常河．深刻蚀高密度熔融石英光栅．中国激光，2006．02
[18] 贾翠红．石英挠性加速度计摆片断裂特性研究．福建师范大学学报，2000．03
[19] 周岩，刘晓胜．石英器件加工工艺及最新进展．中国机械工程，2000．06
[20] 李疆，高钟毓．微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究．传感器技术，2003．09
[21] 金大重，李昕欣．微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析．传感技术学报，2007．01
[22] 张建，金志华．新型挠性支承结构及其加工方法．中国惯性技术学报，2003．02
[23] 近藤恭平．用梁理论解析双悬臂梁试件．玻璃钢/复合材料，1999．02
[24] 刘德明，王静辉．KrF光刻工艺技术．制造技术，2006．08
[25] 王海涌，吴志华．玻璃基片双面光刻对准工艺流程的研究．制造技术，2006．08
[26] 刘忠安．光刻工艺参数的优化方法．半导体光电，2001．02
[27] 姜军，周芳．光刻技术的现状和发展．红外技术，2002．11
[28] 肖啸，刘世杰．光刻技术发展现状分析．乐山师范学院学报，2004．05
[29] 何存富，冯喜旺．光刻技术在PVDF压电薄膜电极制作中的应用．传感器与微系统，2006．10
[30] 郑金红．光刻胶的发展及应用．精细与专用化学品，2006．08
[31] 童志义．光学光刻的极限．电子工业专用设备，2004．02
[32] 王相森．光学光刻技术的发展历程及趋势．微处理机，2002．11
[33] 唐雄贵，姚欣．烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响．微细加工技术，2005．09
[34] 郑晓虎．环氧基负性光刻胶加工微结构的试验研究．光电工程，2006．11
[35] 冯晓国，方梁．金属网栅结构参数设计与制作．光学精密工程，2005．02
[36] 张飞，李艳秋．浸没式ArF光刻系统中光学因素对L形图形的影响．微细加工技术，2006．06
[37] 唐晓莉，苏桦．平面薄膜电感的研究与开发现状．磁性材料及器件，2003．04
[38] 冯伯儒，张锦．微光刻技术的发展．精细加工技术，2000．01
[39] 姜政，丁桂甫．微加工厚光刻胶掩膜电镀工艺研究．电镀与涂饰，2005．07
[40] 陈大鹏，叶甜春．现代光刻技术．核技术，2004．02
[41] 杨向荣，张明．新型光刻技术的现状与进展．材料导报，2007．05
[42] 邵新勋，狄国庆．掩膜法制备薄膜电感．功能材料与器件学报，2003．03
[43] 赵红卫．用于光刻的EUV光源．半导体技术，2007．01
[44] Geoffrey Phillipps,Rudy Pellens,用于图像传感器制造的光刻技术．中国集成电路，2007．01
[45] 罗铂靓，杜惊雷．用于微器件加工的AZ4620厚胶光刻工艺研究．半导体技术，2005．07
[46] 顾英．惯导加速度计技术综述．飞航导弹，2001．06
[47] 张效岩，王英．磁性纳米粒子的制备及应用．磁性材料及器件，2004．12
[48] 沈良，江国华．磁性纳米功能材料研究进展．杭州师范学院院报，2001．10
[49] 滕召胜．电磁力平衡传感器的永磁体性能影响与改善方法．仪表技术与传感器，2000．10
[50] 关英勋，房大维．纳米磁性材料研究现状．渤海大学学报，2004．09
[51] 杨欣，施利毅．纳米复合电磁线绝缘材料制备和表征．上海大学学报，2003．11
[52] 李宇农，何建军．纳米金属粉末研究进展．粉末冶金工业，2004．12
[53] 刘学忠．纳米无机粉末填充电磁线漆的介电特性研究．中国电机工程学报，2004．10
[54] 崔升，沈晓冬．四氧化三铁纳米粉的制备方法及应用．无机盐工业，2005．02
[55] 郝晓红，梅雪松．新型磁悬浮精密定位平台的研究．西安交通大学学报，2005．09
[56] 毕见强，孙康宁．磁性材料的研究和发展趋势．山东大学学报，2003．06
[57] 刘亚丕．高性能永磁材料磁性测量若干问题探讨．磁性材料及器件，2006．02
[58] 廖秋慧，王伟．纳米复合NdFeB永磁材料的研究进展．热加工技术，2005．10
[59] 李震，邱进军．软磁材料矫顽力的高精度测量方法研究．磁性材料及器件，2001．04
[60] 黄丽．粘结NdFeB磁体的制备工艺．复合材料学报，2006．08
[61] 段柏华．注射成形法制备高性能粘结NdFeB磁体．中国有色金属学报，2004．10
[62] 沈文娟，王宝奇．制备工艺对粘结NdFeB永磁体性能的影响．新技术新工艺，2003．09
[63] 张春京，原俊安．从加速度测试技术研究看惯性仪表测试技术发展趋势．航天控制，2005．04
[64] 朱红生，王巍．大量程石英挠性加速度计结构设计与研究．导航与控制，2005．05
[65] 唐富荣，薛大同．六轴加速度计的结构原理与阻尼振动设计．传感技术学报，2002．12
[66] 王晓东，李丹东．石英挠性摆式加速度计零位问题研究．导航与控制，2004．02
[67] 安金刚，王君．石英挠性加速度计精密离心测试的非线性系数重复性探讨．战术导弹控制技术，2006．02
[68] 贾建援，仇原鹰．石英挠性加速度计抗恶劣环境能力的分析．西安电子科技大学学报，1996．12
[69] 赵连元．石英挠性加速度计目前测量方法的局限性分析．战术导弹控制技术，2005．02
[70] 张兰，刘永远．石英挠性加速度计输出饱和故障分析．战术导弹控制技术，2005．01
[71] 何崴．提高石英挠性摆式加速度计可靠性的技术途径．导弹与航天运载技术，1998．06
[72] 王雷，王保良．电容传感器新型微弱电容测量电路．传感技术学报，2002．12
[73] 吴学忠，肖定邦．电容式为加速度计的闭环检测技术研究．传感技术学报，2006．08
[74] 孙立宁，晏祖根．电容式微位移传感器检测电路的设计．机械与电子，2005．01
[75] 张斌斌，从培田．电容式位移传感器转换电路的设计．仪表技术与传感器，2002．11
[76] 王俊杰，罗裴．高灵敏度差分电容检测电路的研究．武汉理工大学学报，2004．09
[77] 汤继强，孙枫．基于差动电容的超导陀螺转子偏移测量研究．哈尔滨工程大学学报，2005．06
[78] 李阳．交流型微小电容测量电路的介绍．冶金自动化，2004．12
[79] 刘海涛，温志渝．电容式微加速度传感器信号处理电路的设计．传感技术学报，2006．10
[80] 张建雄，孙宝元．高线性非接触式电容位移传感器．仪表技术与传感器，2006．01
[81] 金晓洁，邹永顺．惯性元件环氧树脂浇注工艺的探讨．中国惯性技术学报，2000．06
[82] 张鹏飞，龙兴武．石英挠性加速度计误差补偿模型的研究．传感技术学报，2006．08
[83] 满顺强，丁杨斌．数字滤波在加速度计中的工程应用．传感器世界，2006．09
[84] 王立文，国琳娜．惯性测量装置标定技术研究．鱼雷技术，2003．03
[85] John D. Kraus. A helical-beam antenna without a ground plane. IEEE antennas and propagation magazine, 1995.04
[86] K. Harada, I. Sasada. DC magnetizing effect in the toroidal core. IEEE transactio-ns on magnetics, 1979.11
[87] Chang-Hyeon Ji, Si-Hong Ahn. Dual-axis electromagnetic scanning micromirror using radial magnetic field. MEMS 2006, Istanbul, Turkey, 2006.01
[88] Ming-Chu Wu, Der-Ray Huang. Magnetic circuit analysis of magnetizing fixtu-re for a ring magnet in two-axis optical gyroscope. IEEE Transactions on magnetics, 1993.11
[89] Feng-Tian Han, Zhong-Yu Gao. A differential capacitance to voltage converter for electrostatic levitation applications. Sensors and Actuators, 2002
[90] Henrik Rodjegard, Anders Loof. A differential charge-transfer readout circuit for multiple output capacitive sensors. Sensors and Actuators, 2005
[91] Joost C. Lotters,Wouter Olthuis. A sensitive differential Capacitance to voltage converter for sensor applications. IEEE Transactions on instrumentation and measurement, 1999.02
[92] Lu-Feng Che, Bin Xiong. Effects of bias voltage polarity on differential capacitive sensitive devices. Sensors and Actuators, 2004
[93] P. touboul, A. Bernard. Electrostatic accelerometers for the equivalence principle test in space. Instrumentation and space division, 2003.07
[94] Isabelle Bord, Pascal Tardy. Influence of the electrodes configuration on a differential capacitive rain sensor performances. Sensors and Actuators, 2005.06
[95] Ping Wang, Shang-Shu Duan. Research on the dynamic test method for force-balance accelerometers with electic stimulation. Sensors and Actuators, 1996
[96] Mahmut Onur Karslioglu. Thermodynamical parasitic forces in high precision accelerometers on board of a drag-free satellite. Sensors and Actuators, 2004