基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究
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摘要
论文针对纳卫星(重量低于10公斤)和皮卫星(重量低于1公斤)中飞轮姿态控制、执行元件对微电机输出力矩、角动量、体积、重量和使用寿命等的需求，提出了基于体硅微机械加工工艺的单定子—双转子结构平面电磁微电机的设计思想。
较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。在厚胶光刻工艺中重点解决了胶膜厚度的均匀性、胶膜与衬底的粘附性、大厚度差胶层的曝光、显影条件等的优化问题。
在电铸工艺中，摸索出获得颗粒均匀、致密度高的金属绕组线圈的电铸工艺条件，给出了电铸电流的波形、频率、占空比及电极电压，并对衬底表面不平整度对电铸效果的影响进行了详细分析，解决了电铸过程中光刻胶与电铸液兼容性的问题。
通过对电机绕组及电机旋转过程，以及对此类电磁型平面微电机在旋转过程中产生的感生电势、感生电流、平均输出力矩、极限转速等机械特性指标的分析，给出了电机转速、输出力矩等输出特性的计算公式。
电磁型平面微电机输出力矩测试利用了自行研制的非接触式力矩测试仪，通过VC++编制串口程序，实现了电子天平与计算机串口的数据传输；利用windows高精度定时器，实现了较高频率读取的计算机软件实现；利用间接测量法，解决了测量半径未知情况下测量半径的计算方法；对仪器的测量精度进行了较深入研究，给出了输出力矩误差公式。仪器对电磁型平面微电机的测试结果表明：在驱动电压为3V时，电机输出力矩达到300μN.m，转速与输出力矩之间基本符合线性关系。
In order to realize the request of output torque, angular momentum, volume, weight and life-span of the attitude control components on nano-satellite (less than 10 kilogramme in weight) and picoSatellite (less than 0.1 kilogramme in weight),a kind of single stator-double rotors electromagnetic micromotor that made by bulk silicon micromachining process is mentioned.
Making method of high deep-width rate, batch production of planar windings with LIGA process and silicon deep etching process is researched in the thesis. Uniformity of the photoresist film, adhesiveness between underlay and glue film, exposal and develop condition of high thickness difference are all solved in the thesis.
During the course of electro form process, we got ideal electro form process condition that can get windings with uniform granule and high compactness, including current waveform, frequency, duty ratio and voltage to the windings ect. Affect of underlay's flatness to the electroform process are also analysed in detail. Compatibility between photoresist and electroforming solution is also solved.
Through the analysis of windings, rotate course of the micromotor and the analysis of induced electromotive force, induced current, average output torque, limit speed ect during the course of the rotating condition, computing equation of rotate speed, output torque ect are given.
Noncontact microtorque measurement equipment is used to measure the output torque of the electromagnetic planar micromotor. Data communication between computer and electro balance are realized through VC++ serial interface program, high frequency acquire are also realized through windows high precise timer. There we solved the problem of measuring the arm of force through indirect method of measurement. Precision of the equipment is studied and error equation is offered. It is verified that the output torque can reach 300μN. m and the relationship between output torque and rotate speed approximately linear.
较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。在厚胶光刻工艺中重点解决了胶膜厚度的均匀性、胶膜与衬底的粘附性、大厚度差胶层的曝光、显影条件等的优化问题。
在电铸工艺中，摸索出获得颗粒均匀、致密度高的金属绕组线圈的电铸工艺条件，给出了电铸电流的波形、频率、占空比及电极电压，并对衬底表面不平整度对电铸效果的影响进行了详细分析，解决了电铸过程中光刻胶与电铸液兼容性的问题。
通过对电机绕组及电机旋转过程，以及对此类电磁型平面微电机在旋转过程中产生的感生电势、感生电流、平均输出力矩、极限转速等机械特性指标的分析，给出了电机转速、输出力矩等输出特性的计算公式。
电磁型平面微电机输出力矩测试利用了自行研制的非接触式力矩测试仪，通过VC++编制串口程序，实现了电子天平与计算机串口的数据传输；利用windows高精度定时器，实现了较高频率读取的计算机软件实现；利用间接测量法，解决了测量半径未知情况下测量半径的计算方法；对仪器的测量精度进行了较深入研究，给出了输出力矩误差公式。仪器对电磁型平面微电机的测试结果表明：在驱动电压为3V时，电机输出力矩达到300μN.m，转速与输出力矩之间基本符合线性关系。
In order to realize the request of output torque, angular momentum, volume, weight and life-span of the attitude control components on nano-satellite (less than 10 kilogramme in weight) and picoSatellite (less than 0.1 kilogramme in weight),a kind of single stator-double rotors electromagnetic micromotor that made by bulk silicon micromachining process is mentioned.
Making method of high deep-width rate, batch production of planar windings with LIGA process and silicon deep etching process is researched in the thesis. Uniformity of the photoresist film, adhesiveness between underlay and glue film, exposal and develop condition of high thickness difference are all solved in the thesis.
During the course of electro form process, we got ideal electro form process condition that can get windings with uniform granule and high compactness, including current waveform, frequency, duty ratio and voltage to the windings ect. Affect of underlay's flatness to the electroform process are also analysed in detail. Compatibility between photoresist and electroforming solution is also solved.
Through the analysis of windings, rotate course of the micromotor and the analysis of induced electromotive force, induced current, average output torque, limit speed ect during the course of the rotating condition, computing equation of rotate speed, output torque ect are given.
Noncontact microtorque measurement equipment is used to measure the output torque of the electromagnetic planar micromotor. Data communication between computer and electro balance are realized through VC++ serial interface program, high frequency acquire are also realized through windows high precise timer. There we solved the problem of measuring the arm of force through indirect method of measurement. Precision of the equipment is studied and error equation is offered. It is verified that the output torque can reach 300μN. m and the relationship between output torque and rotate speed approximately linear.
引文
1 刘文耀，杜君文，应济．MEMS的概念及国内外研究现状．机械工程师，2001，2：8-10
2 郭占社，吴一辉．微电机发展现状及应用．光学精密工程，2002，10(6)：60-66
3 李文军，赵小林，蔡炳初等．微光机电系统及其应用．微细加工技术，200l，3：1-7
4 张琛．电磁型微电机的发展趋势及我们的对策．微特电机，1998，2：24-26
5 杨大伟，超微电机发展状况．微电机，1995，3：21-24
6 张琛，赵小林，杨春生等．超微电动机实用化关键技术及应用前景．上海交通大学学报，2000，3：430-432
7 余晋岳，张琛，杨春生等．直径1mm电磁型双定子微马达的结构特点及稀土永磁在其中的应用．磁性材料及器件，2000，2：15-17
8 张寿柏，张琛，赵小林等．直径为φ2mm的电磁型微电动机的研究．上海交通大学学报，1996，30(9)：133-136
9 梁静秋，姚劲松．端面摇摆式微型电机研究．光学精密工程，1999，4：76-78
10 贾智，王立鼎，梁静秋等．端面摇摆式微型电磁电机工作原理及运动学分析．光学精密工程，1999，4：72-76
11 邵培革，王立鼎．纵弯式压电微电机研究．中国机械工程，2001，12(6)：704-706
12 邵培革，王立鼎．重力-弹力耦合驱动压电微电机研究．光学精密工程，1999，4：76-78
13 苑伟政，李晓莹．微机械及微细加工技术．机械科学与技术．1997，16(3)：502-508
14 吴冲若．微机械及微细加工技术．微细加工技术，1993，1：16-21
15 谢国章．微机械的制造及应用．微细加工技术，1993，4：8-12
16 张珂．微机械的制造技术及应用．机械制造，1999，8：20-21
17 袁明权．硅基微机械加工技术．半导体技术，2001，26(8)：6-10
18 伊福廷，吴坚武，洗鼎昌．微细加工新技术-LIGA技术．微细加工技术，1993，4：1-6
19 梁静秋．LIGA技术研究现状及工业应用．光机电信息，2002,4：1-6
20 伊福廷，彭亮强，张菊芳等．利用LIGA技术研制超微步进电机．微特电机，2001．3：18-20
21 李兴根．国外微电机技术动态．微电机，1997，4：28-31
22 王海黎．永磁微特电机发展动向．微电机，1994，27(2)：23-24
23 袁海林，施进浩．微特电机市场动向和发展对策．微特电机，2001，6：3-6
24 唐苏亚．片状微电机的发展概况．微电机，1993，4：34-38
25 苏恩泽．“蚂蚁雄狮”战世界—纳米技术前瞻．解放军报，2001年7月4日第九版
26 张曼若．无刷直流电动机的发展与应用．微电机，1995，28(1)：23-26
27 李忠杰．无刷直流电动机相数、槽数及绕组连接方式的选择．微特电机．1999．5：11-13
28 杨春生，丁桂甫，赵小林等．微马达结构、气隙磁场和绕组层数对微马达输出力矩的影响．微细加工技术，2001，1：50-52
29 李文军，赵小林，蔡炳初．微型电磁驱动器中微小电磁力的研究．微细加工技术，2002．1：45-49
30 车录锋，吕琼莹，王立鼎．电磁微电机中平面线圈磁场分布特性的研究．功能材料与器件学报，1996，2(3)：152-157
31 上官璇峰，王海星，焦留成．永磁无刷直流电动机的转矩脉动及其削弱方法微电机，2001，34(3)：48-50
32 刘瑞芳，胡敏强，严登俊．永磁电机中永磁体数学模型的分析．微电机，2001，34(1)：7-10
33 窦晓霞．永磁电机气隙磁场分析与磁钢选择．微电机，2000，33(2)：11-15
34 方淑丹．永磁直流电动机气隙磁密波形的确定．微特电机，1996，3：2-5
35 徐成喜．无槽无刷直流电动机及其磁钢最佳工作点的确定．微特电机，1995，5：20-22
36 董亚晖．永磁无刷直流电机转子位置估算方法．微特电机，2002，2：11-13
37 高强，贡俊等．新型盘式无刷直流电动机及其控制器设计．微特电机，2001，4：10-12
38 刘晓东，赵衡兵，陈永校等．轴向磁场永磁同步电动机电感参数的计算．微电机，1999，32(11)：3-6
39 韩光鲜，谢占明，王宗培等．无刷直流电动机电枢等效电阻的实例研究．微电机，2002，35(1)：3-5
40 杨春生，赵小林，丁桂甫等．电磁型微马达的微转子研究．微细加工技术，1999，4：47-50
41 赵小林，杨春生，周狄等．φ1mm电磁型微电机定子绕组研制．微细加工技术，1998, 3：58-60
42 郭占社，吴一辉，宣明等．电磁型平面微电机及其制作工艺研究．光学精密工程，2003，11(2)：120-124
43 郭占社，吴一辉，张平等．基于微机械工艺的平面电机及其制作．中国机械工程学会2002年年会．
44 鲜飞．表面安装PCB设计工艺简介．可靠性设计与工艺控制，2002，1：39-44
45 童枫．未来PCB的技术展望．电子电路与贴装，2002，1：3-11
46 刘志强．从理论到实践—浅谈印刷版电镀铜工艺．印制电路与贴装，2001，1：11-13
47 李学明．脉冲电镀技术在印刷电路板制造中应用．印制电路与贴装，2001，7：27-32
48 王邦江，李德杰．FED的光刻技术．微细加工技术，1998，3：46-50
49 王阳元，康晋锋．硅集成电路光刻技术的发展与挑战．半导体学报，2002，3：225-237
50 苏雪莲．新世纪光刻技术及光刻设备的发展趋势．微电子技术，2001，29(12)：8-17
51 陈东石，王冬梅，路海林．微细线条加工中光刻精度的保证微处理机，2002，2：23-26
52 苏平，冯伯儒，张锦．提高图形质量的双曝光技术．微细加工技术，2001．2：20-23
53 童志义．光学光刻现状及设备市场．电子工业专用设备，2002，1：2-6
54 刘建海，陈开盛，曹庄琪．光刻技术在微细加工中的应用．半导体技术，2001，8：37-39
55 唐九耀，曹向群，陈钰清．光刻机的分辨率和对准特性研究．光电子·激光．2001，11：1022-1023
56 刘忠安．光刻工艺参数的优化方法．半导体光电，200，11：52-54
57 姚汉民，刘业异．21世纪微电子光刻技术．半导体技术，2001，10：47-51
58 赵猛，张亚非，徐东等．超精细图案光刻技术的研究与发展．微细加工技术，2002，4：1-6
59 陈迪，李昌敏，章吉良等．LIGA技术X光深层光刻工艺研究．微细加工技术，2000，2：66-69
60 孙自敏，刘理天，李志坚．利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术．微细加工技
术．1999，2：52-56
61 冯伯儒，张锦，侯德胜等．微光刻技术的发展．微细加工技术，2000，1：1-9
62 周崇喜，林大键，李展．曝光均匀照明系统光照均匀性的研究．微细加工技术，1996，1：23-28
63 谢杰林、朱海峰．脉冲选择电镀金加厚工艺技术研究．微电子学与计算机．1999,5：21-23
64 夏裕佳，席裕庚．windows95数控系统实时中断研究．计算机工程与应用，2000．1：83-85
65 陈本竹．精密微电机三相驱动电源．微电机．1993，25(3)：52-55
66 谢宝昌，任永德．异步电动机直接转矩控制新方法．微特电机，2001(3)：10-11
67 刘少克，陆胜旺．计算机控制的步进电动机程序设计方法．微特电机，2001(3)：16-20
68 卢靖华，郭伟．无刷直流电机控制及其等效电路．微特电机，1994(2)：18-22
69 尹仕人，韩立燕．50kHz脉宽调制开关电源在直流电机调速系统中的应用．微特电机．1994,2：27-31
70 邹继斌，张豫，李宗政．无位置传感器无刷直流电机驱动电路的研究．微电机，1999，32(2)：16-19
71 石山，励庆孚，谢卫．一种新型无位置传感器直流电动机起动方法．微特电机，2001．2：25-27
72 李忧新．永磁直流无刷直流电动机电枢反应磁势对最佳换向位置的影响分析．微特电机，2000，3：36-39
73 沈建新，罗佳，陈永校．无传感器无刷直流电机位置误差的分析与补偿．微特电机，1999,5：3-10
74 宋吉江，牛轶霞．锁相环技术及CD4046的结构和应用．半导体技术，2000，25(3)：60-63
75 张微，柳梁．一种用锁相环MC14046构成的新型频率合成器．江西电力职工大学学报，2002，15(1)：17-20
76 卢广芝．锁相环集成电路的典型应用．集成电路应用，1996,5：33-34
77 苗增秀，王华东．压孔边频振荡器电路的分析．机床电器，1998,6：43-44
78 邝小磊．用锁相环电路实现任意频率变换技术．国外电子元器件,2002，6：18-20．
79 苏成富．CD4017原理与应用．电子制作，2000，6：44-45
80 王海群．关于CD4017的一些应用．上海大型电机，2002，1：38-40
81 孙立宁，周兆英，龚振邦．MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战略的思考，http://www.mie.gov.cn
82 周兆英教授．新世纪的新事业：中国MEMS调查．电子产品世界，http://www.sina.com.cn,2002/8/11
83 王孝，王彬，谭学冶．一种新型4×4矩阵键盘电路．移动通信，http://www.mc21st.corn/2001-02/all.htm
84 车录锋．微机械电磁电机换能理论中若干基本问题的研究．硕士学位论文．1996．2
85 崔天宏．微电子机械系统中的压电微马达的研究．博士学位论文，1995
86 马建旭．微机械中纵弯式压电微电机特性的研究．博士学位论文，1997．6
87 吴一辉，贾宏光，王立鼎．微观测试技术及其发展应用．光学精密工程．1998，16(2)：15-17
88 贾宏光，吴一辉，王立鼎等．微小扭矩动态测量．光学 精密工程1998，16(2)：61-63
89 吴一辉，微小电机转矩及相关理论和技术的研究．博士后出站报告，1999，6
90 吴一辉，微制动器扭矩测试仪的研究，八六三计划“八五”期间项目最终科学技术报告，1999，7
91 章吉良，杨春生．微机电系统及其相关技术．上海交通大学出版社，2001年5月
92 石庚辰．微机电系统技术．国防工业出版社，2002．1
93 苑伟政，马炳和编著．微机械与微细加工技术．西北工业大学出版社，2000年8月
94 唐任远著．现代永磁电机理论与设计．机械工业出版社，1997．12
95 唐介编．控制微电机．高等教育出版社，1987
96 程守洙，江之永编．普通物理学．高等教育出版社，2000．6
97 赵凯华编．电磁学(上，下)．高等教育出版社，2001．4
98 康华光主编．电子技术基础(模拟部分)．高等教育出版社，1996．12出版
99 阎石主编．数字电子技术技术．高等教育出版社，1995．4出版
100 章名涛，肖如鸿．电机的电磁场．机械工业出版社，1988．10
101 田民波编著．磁性材料．清华大学出版社，2000．10
102 陈丕璋，严烈通编著．电机电磁场理论与计算．科学出版社，1986
103 刘宗富主编．电机学．冶金工业出版社，1992．9
104 张琛编．直流无刷电动机原理及应用．机械工业出版社，1996．4
105 蔡方耀．电动机应用计算指南．中国计划出版社，1998．2
106 彭友元主编．电机绕组手册．辽宁科学技术出版社，1997．10
107 电子工业半导体专业工人技术教材编写组．半导体器件工艺．上海科学技术文献出版社，1984．1
108 谢孟贤，刘国维编写．半导体工艺原理．国防工业出版社，1978．11
109 黄汉尧，李乃平．半导体器件工艺原理．国防工业出版社，1983．6
110 中华人民共和国机械工业部统编．电镀工艺学．科学普及出版社，1982．5
111 章葆澄．电镀工艺学．北京航空航天大学出版社，1992．5
112 郭鹤桐，陈建勋，刘淑兰等．电镀工艺学．天津科学技术出版社．1995．8
113 朱立群编译．合金电镀．航空工业出版社，1989．5
114 郑文学、王金波著．仪器精度设计兵器工业出版社，1992．4
115 网冠科技．Visual C++6.0时尚编程百例．机械工业出版社，2001．1
116 何建辉、董方鹏等译．实用Visual C++6.0教程．清华大学出版社，2000．8
117 费业泰．误差理论与数据处理．机械工业出版社，1994．5
118 谢式千、潘承毅编．概率论与数理统计．高等教育出版社，1995．4
119 [美]J．克拉泼，J．T．弗兰克勒著，李兆寅等译．锁相和频率反馈系统原理与技术人民邮电出版社，1982．5出版
120 魏立君，魏华琦编．CMOS 4000系列60中常用集成电路的应用．人民邮电出版社，1993．2
121 忻兵，黄洵石，陈宝康等编．CMOS集成电路及应用．中国铁道出版社，1988．8出版
122 谭建成编．电机控制专用集成电路．机械工业出版社，1997．7
123 Gilles Bourbon,Patrice Minotti,Philippe langlet ect. Three Dimensional Active Microcatheter Combing Shape Memory Alloy Actuators and Direct-Dirve Tubular Electrostatic Micromotors. SPIE. 1998,3524:147-158
124 AJ Hariz. State of Commercialization of MEMS: Present and Future Prospects. Proceedings of SPIE. 2001,4591:39-44
125 V.D.Samper, A.J.Sangster, R.L.Reuben ect. Torque Evaluation of a LIGA Fabricated Electrostatic Micromotor. IEEE JOURNAL OF
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. 1999,8(1) :115-123
126 Song-Jo Chun,Herbert ect. LIGA technology today and its industrial applications. Proceedings of SPIE. 2000,4194:44-55
127 Luc GFrehette,Steven F.Nagle,Reza ect. AN ELECTROSTATIC INDUCTION MICROMOTOR SUPPORTED ON GAS-LUBRICATED BEARINGS.IEEE 14th International Micro Electro Mechanical System Conference, MEMS 2001, Switzerland. 1-4
128 Mingsheng Zhang,Bingcu Cai,Xiaolin Zhao.Three-Dimensional Magnetic Field Analysis of Micromotor by Fast Fourier Transform.IEEE,TRANSACTION ON MAGNETIC S.1999, 35 (5) :3685-3687
129 Adrian C.Aguero, Fernando A.Actis. Finite Element Analysis of a Synchronous Permanent Magnet Micromotor through Axisymmetric and Transverse Planar Simulations. IEEE TRANSACTIONSONMAGNETICS 1998 , 34(5) : 3604-3606
130 V.Fernandez, G.Reyne and O.Cugat. Prospective FEM Modeling of Induction Planar Micromotors. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS .1999, 35(3) :1805-1808
131 FABRIZIO MARIGNETTI and MAURIZIO SCARANO DESIGN AND PERFORMANCE EVALUATION OF A NEW DISC-TYPE MMICROMOTOR WITH ETCHED WINDINGS. Electric Machines and Power ystems. 1998,26:887-901．
132 Chong H.Ahn,Yong J.Kim,Mark GAllen. A Planar Variable Reluceance Magnetic Micromotor With Fully Integrated Stator And Wrapped Coils. IEEE Micro-Electro-Mechanical System Conference 1993,pp.1-6
133 Paul Kettle Aengus Murray & Finbarr Moynihan.Sensorless Control of a Brushless motor using an Extended Kalman estimator. PCMI'98 INTELLIGANT MOTION. 1998,5:385-392
134 M.Nienhaus W.Ehrfeld,F.Schmitz ect. Design and realization of a penny-shaped micromotor. SPEE.1999, 36:80592-600
135 William Gerard Hurley . Impedance Formulas for Planar Magnetic Structures with Sprial Windings. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS. 1999, 46 (2) :271-278
136 J.-M.Huang,K.M.Liew and A.Q.Liu. Alarge deflection of out-of-plane magnetic actuators using surface micromachining. SPIE.2000, 4176:140-146
137 Wen-Bin, Tasi and Ting-Yu Chang. Analysis of Flux Leakage in a Brushless Permanent-Magnet Motor with Embedded Magnets.IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS. 1999,35(1) :543-546
138 J.K.Bhardwaj,H.Asharf. Advanced silicon etching use high density plasmas. SPIE Micromachining and Microfabrication Process Technology. 1995, 2639, 224-233
139 Masakazu SHIOZAWA and Kenichi NANBU. Particle Modeling of Inductively Coupled Plasma and Radicals Flow to Predict Etch Rate of Silicon Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 41 (2002) Pt. 1,No. 4A
140 Si-Hyun Park, Heonsu Jeon, Youn-Joon Sung, and Geun-Young Yeom Refractive sapphire microlenses fabricated bychlorine-based inductively coupled plasma etching.APPLIED OPTICS Vol. 40, No. 22 .1 August 2001
141 Akinori Hashimura, Siavash Pourkamali, and Farrokh Ayazi. Single-Crystal Silicon HARPSS Capacitive Resonators with Submicron Gap-Spacing.Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop Hilton Head Island, South Carolina, June 2-6, 2002
142 Petre Minciunescu,Tom Flint, Finbarr Miynihan ect. Sensorless Control of DC Motors Using Exteded Kalman Estimator And Back Emf Integration Algorithm: Acomparidon. International PCM Conference in germany . 2001 ,19-21
143 Wang Qunjing ,Li Guoli, Sun Mingshi ect .An Investigation on Brushless DC Motor CAD. Proceedings of the 3th World Congress on Intelligent Control and Automation in Hefei. 2000 June 28
2 郭占社，吴一辉．微电机发展现状及应用．光学精密工程，2002，10(6)：60-66
3 李文军，赵小林，蔡炳初等．微光机电系统及其应用．微细加工技术，200l，3：1-7
4 张琛．电磁型微电机的发展趋势及我们的对策．微特电机，1998，2：24-26
5 杨大伟，超微电机发展状况．微电机，1995，3：21-24
6 张琛，赵小林，杨春生等．超微电动机实用化关键技术及应用前景．上海交通大学学报，2000，3：430-432
7 余晋岳，张琛，杨春生等．直径1mm电磁型双定子微马达的结构特点及稀土永磁在其中的应用．磁性材料及器件，2000，2：15-17
8 张寿柏，张琛，赵小林等．直径为φ2mm的电磁型微电动机的研究．上海交通大学学报，1996，30(9)：133-136
9 梁静秋，姚劲松．端面摇摆式微型电机研究．光学精密工程，1999，4：76-78
10 贾智，王立鼎，梁静秋等．端面摇摆式微型电磁电机工作原理及运动学分析．光学精密工程，1999，4：72-76
11 邵培革，王立鼎．纵弯式压电微电机研究．中国机械工程，2001，12(6)：704-706
12 邵培革，王立鼎．重力-弹力耦合驱动压电微电机研究．光学精密工程，1999，4：76-78
13 苑伟政，李晓莹．微机械及微细加工技术．机械科学与技术．1997，16(3)：502-508
14 吴冲若．微机械及微细加工技术．微细加工技术，1993，1：16-21
15 谢国章．微机械的制造及应用．微细加工技术，1993，4：8-12
16 张珂．微机械的制造技术及应用．机械制造，1999，8：20-21
17 袁明权．硅基微机械加工技术．半导体技术，2001，26(8)：6-10
18 伊福廷，吴坚武，洗鼎昌．微细加工新技术-LIGA技术．微细加工技术，1993，4：1-6
19 梁静秋．LIGA技术研究现状及工业应用．光机电信息，2002,4：1-6
20 伊福廷，彭亮强，张菊芳等．利用LIGA技术研制超微步进电机．微特电机，2001．3：18-20
21 李兴根．国外微电机技术动态．微电机，1997，4：28-31
22 王海黎．永磁微特电机发展动向．微电机，1994，27(2)：23-24
23 袁海林，施进浩．微特电机市场动向和发展对策．微特电机，2001，6：3-6
24 唐苏亚．片状微电机的发展概况．微电机，1993，4：34-38
25 苏恩泽．“蚂蚁雄狮”战世界—纳米技术前瞻．解放军报，2001年7月4日第九版
26 张曼若．无刷直流电动机的发展与应用．微电机，1995，28(1)：23-26
27 李忠杰．无刷直流电动机相数、槽数及绕组连接方式的选择．微特电机．1999．5：11-13
28 杨春生，丁桂甫，赵小林等．微马达结构、气隙磁场和绕组层数对微马达输出力矩的影响．微细加工技术，2001，1：50-52
29 李文军，赵小林，蔡炳初．微型电磁驱动器中微小电磁力的研究．微细加工技术，2002．1：45-49
30 车录锋，吕琼莹，王立鼎．电磁微电机中平面线圈磁场分布特性的研究．功能材料与器件学报，1996，2(3)：152-157
31 上官璇峰，王海星，焦留成．永磁无刷直流电动机的转矩脉动及其削弱方法微电机，2001，34(3)：48-50
32 刘瑞芳，胡敏强，严登俊．永磁电机中永磁体数学模型的分析．微电机，2001，34(1)：7-10
33 窦晓霞．永磁电机气隙磁场分析与磁钢选择．微电机，2000，33(2)：11-15
34 方淑丹．永磁直流电动机气隙磁密波形的确定．微特电机，1996，3：2-5
35 徐成喜．无槽无刷直流电动机及其磁钢最佳工作点的确定．微特电机，1995，5：20-22
36 董亚晖．永磁无刷直流电机转子位置估算方法．微特电机，2002，2：11-13
37 高强，贡俊等．新型盘式无刷直流电动机及其控制器设计．微特电机，2001，4：10-12
38 刘晓东，赵衡兵，陈永校等．轴向磁场永磁同步电动机电感参数的计算．微电机，1999，32(11)：3-6
39 韩光鲜，谢占明，王宗培等．无刷直流电动机电枢等效电阻的实例研究．微电机，2002，35(1)：3-5
40 杨春生，赵小林，丁桂甫等．电磁型微马达的微转子研究．微细加工技术，1999，4：47-50
41 赵小林，杨春生，周狄等．φ1mm电磁型微电机定子绕组研制．微细加工技术，1998, 3：58-60
42 郭占社，吴一辉，宣明等．电磁型平面微电机及其制作工艺研究．光学精密工程，2003，11(2)：120-124
43 郭占社，吴一辉，张平等．基于微机械工艺的平面电机及其制作．中国机械工程学会2002年年会．
44 鲜飞．表面安装PCB设计工艺简介．可靠性设计与工艺控制，2002，1：39-44
45 童枫．未来PCB的技术展望．电子电路与贴装，2002，1：3-11
46 刘志强．从理论到实践—浅谈印刷版电镀铜工艺．印制电路与贴装，2001，1：11-13
47 李学明．脉冲电镀技术在印刷电路板制造中应用．印制电路与贴装，2001，7：27-32
48 王邦江，李德杰．FED的光刻技术．微细加工技术，1998，3：46-50
49 王阳元，康晋锋．硅集成电路光刻技术的发展与挑战．半导体学报，2002，3：225-237
50 苏雪莲．新世纪光刻技术及光刻设备的发展趋势．微电子技术，2001，29(12)：8-17
51 陈东石，王冬梅，路海林．微细线条加工中光刻精度的保证微处理机，2002，2：23-26
52 苏平，冯伯儒，张锦．提高图形质量的双曝光技术．微细加工技术，2001．2：20-23
53 童志义．光学光刻现状及设备市场．电子工业专用设备，2002，1：2-6
54 刘建海，陈开盛，曹庄琪．光刻技术在微细加工中的应用．半导体技术，2001，8：37-39
55 唐九耀，曹向群，陈钰清．光刻机的分辨率和对准特性研究．光电子·激光．2001，11：1022-1023
56 刘忠安．光刻工艺参数的优化方法．半导体光电，200，11：52-54
57 姚汉民，刘业异．21世纪微电子光刻技术．半导体技术，2001，10：47-51
58 赵猛，张亚非，徐东等．超精细图案光刻技术的研究与发展．微细加工技术，2002，4：1-6
59 陈迪，李昌敏，章吉良等．LIGA技术X光深层光刻工艺研究．微细加工技术，2000，2：66-69
60 孙自敏，刘理天，李志坚．利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术．微细加工技
术．1999，2：52-56
61 冯伯儒，张锦，侯德胜等．微光刻技术的发展．微细加工技术，2000，1：1-9
62 周崇喜，林大键，李展．曝光均匀照明系统光照均匀性的研究．微细加工技术，1996，1：23-28
63 谢杰林、朱海峰．脉冲选择电镀金加厚工艺技术研究．微电子学与计算机．1999,5：21-23
64 夏裕佳，席裕庚．windows95数控系统实时中断研究．计算机工程与应用，2000．1：83-85
65 陈本竹．精密微电机三相驱动电源．微电机．1993，25(3)：52-55
66 谢宝昌，任永德．异步电动机直接转矩控制新方法．微特电机，2001(3)：10-11
67 刘少克，陆胜旺．计算机控制的步进电动机程序设计方法．微特电机，2001(3)：16-20
68 卢靖华，郭伟．无刷直流电机控制及其等效电路．微特电机，1994(2)：18-22
69 尹仕人，韩立燕．50kHz脉宽调制开关电源在直流电机调速系统中的应用．微特电机．1994,2：27-31
70 邹继斌，张豫，李宗政．无位置传感器无刷直流电机驱动电路的研究．微电机，1999，32(2)：16-19
71 石山，励庆孚，谢卫．一种新型无位置传感器直流电动机起动方法．微特电机，2001．2：25-27
72 李忧新．永磁直流无刷直流电动机电枢反应磁势对最佳换向位置的影响分析．微特电机，2000，3：36-39
73 沈建新，罗佳，陈永校．无传感器无刷直流电机位置误差的分析与补偿．微特电机，1999,5：3-10
74 宋吉江，牛轶霞．锁相环技术及CD4046的结构和应用．半导体技术，2000，25(3)：60-63
75 张微，柳梁．一种用锁相环MC14046构成的新型频率合成器．江西电力职工大学学报，2002，15(1)：17-20
76 卢广芝．锁相环集成电路的典型应用．集成电路应用，1996,5：33-34
77 苗增秀，王华东．压孔边频振荡器电路的分析．机床电器，1998,6：43-44
78 邝小磊．用锁相环电路实现任意频率变换技术．国外电子元器件,2002，6：18-20．
79 苏成富．CD4017原理与应用．电子制作，2000，6：44-45
80 王海群．关于CD4017的一些应用．上海大型电机，2002，1：38-40
81 孙立宁，周兆英，龚振邦．MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战略的思考，http://www.mie.gov.cn
82 周兆英教授．新世纪的新事业：中国MEMS调查．电子产品世界，http://www.sina.com.cn,2002/8/11
83 王孝，王彬，谭学冶．一种新型4×4矩阵键盘电路．移动通信，http://www.mc21st.corn/2001-02/all.htm
84 车录锋．微机械电磁电机换能理论中若干基本问题的研究．硕士学位论文．1996．2
85 崔天宏．微电子机械系统中的压电微马达的研究．博士学位论文，1995
86 马建旭．微机械中纵弯式压电微电机特性的研究．博士学位论文，1997．6
87 吴一辉，贾宏光，王立鼎．微观测试技术及其发展应用．光学精密工程．1998，16(2)：15-17
88 贾宏光，吴一辉，王立鼎等．微小扭矩动态测量．光学 精密工程1998，16(2)：61-63
89 吴一辉，微小电机转矩及相关理论和技术的研究．博士后出站报告，1999，6
90 吴一辉，微制动器扭矩测试仪的研究，八六三计划“八五”期间项目最终科学技术报告，1999，7
91 章吉良，杨春生．微机电系统及其相关技术．上海交通大学出版社，2001年5月
92 石庚辰．微机电系统技术．国防工业出版社，2002．1
93 苑伟政，马炳和编著．微机械与微细加工技术．西北工业大学出版社，2000年8月
94 唐任远著．现代永磁电机理论与设计．机械工业出版社，1997．12
95 唐介编．控制微电机．高等教育出版社，1987
96 程守洙，江之永编．普通物理学．高等教育出版社，2000．6
97 赵凯华编．电磁学(上，下)．高等教育出版社，2001．4
98 康华光主编．电子技术基础(模拟部分)．高等教育出版社，1996．12出版
99 阎石主编．数字电子技术技术．高等教育出版社，1995．4出版
100 章名涛，肖如鸿．电机的电磁场．机械工业出版社，1988．10
101 田民波编著．磁性材料．清华大学出版社，2000．10
102 陈丕璋，严烈通编著．电机电磁场理论与计算．科学出版社，1986
103 刘宗富主编．电机学．冶金工业出版社，1992．9
104 张琛编．直流无刷电动机原理及应用．机械工业出版社，1996．4
105 蔡方耀．电动机应用计算指南．中国计划出版社，1998．2
106 彭友元主编．电机绕组手册．辽宁科学技术出版社，1997．10
107 电子工业半导体专业工人技术教材编写组．半导体器件工艺．上海科学技术文献出版社，1984．1
108 谢孟贤，刘国维编写．半导体工艺原理．国防工业出版社，1978．11
109 黄汉尧，李乃平．半导体器件工艺原理．国防工业出版社，1983．6
110 中华人民共和国机械工业部统编．电镀工艺学．科学普及出版社，1982．5
111 章葆澄．电镀工艺学．北京航空航天大学出版社，1992．5
112 郭鹤桐，陈建勋，刘淑兰等．电镀工艺学．天津科学技术出版社．1995．8
113 朱立群编译．合金电镀．航空工业出版社，1989．5
114 郑文学、王金波著．仪器精度设计兵器工业出版社，1992．4
115 网冠科技．Visual C++6.0时尚编程百例．机械工业出版社，2001．1
116 何建辉、董方鹏等译．实用Visual C++6.0教程．清华大学出版社，2000．8
117 费业泰．误差理论与数据处理．机械工业出版社，1994．5
118 谢式千、潘承毅编．概率论与数理统计．高等教育出版社，1995．4
119 [美]J．克拉泼，J．T．弗兰克勒著，李兆寅等译．锁相和频率反馈系统原理与技术人民邮电出版社，1982．5出版
120 魏立君，魏华琦编．CMOS 4000系列60中常用集成电路的应用．人民邮电出版社，1993．2
121 忻兵，黄洵石，陈宝康等编．CMOS集成电路及应用．中国铁道出版社，1988．8出版
122 谭建成编．电机控制专用集成电路．机械工业出版社，1997．7
123 Gilles Bourbon,Patrice Minotti,Philippe langlet ect. Three Dimensional Active Microcatheter Combing Shape Memory Alloy Actuators and Direct-Dirve Tubular Electrostatic Micromotors. SPIE. 1998,3524:147-158
124 AJ Hariz. State of Commercialization of MEMS: Present and Future Prospects. Proceedings of SPIE. 2001,4591:39-44
125 V.D.Samper, A.J.Sangster, R.L.Reuben ect. Torque Evaluation of a LIGA Fabricated Electrostatic Micromotor. IEEE JOURNAL OF
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. 1999,8(1) :115-123
126 Song-Jo Chun,Herbert ect. LIGA technology today and its industrial applications. Proceedings of SPIE. 2000,4194:44-55
127 Luc GFrehette,Steven F.Nagle,Reza ect. AN ELECTROSTATIC INDUCTION MICROMOTOR SUPPORTED ON GAS-LUBRICATED BEARINGS.IEEE 14th International Micro Electro Mechanical System Conference, MEMS 2001, Switzerland. 1-4
128 Mingsheng Zhang,Bingcu Cai,Xiaolin Zhao.Three-Dimensional Magnetic Field Analysis of Micromotor by Fast Fourier Transform.IEEE,TRANSACTION ON MAGNETIC S.1999, 35 (5) :3685-3687
129 Adrian C.Aguero, Fernando A.Actis. Finite Element Analysis of a Synchronous Permanent Magnet Micromotor through Axisymmetric and Transverse Planar Simulations. IEEE TRANSACTIONSONMAGNETICS 1998 , 34(5) : 3604-3606
130 V.Fernandez, G.Reyne and O.Cugat. Prospective FEM Modeling of Induction Planar Micromotors. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS .1999, 35(3) :1805-1808
131 FABRIZIO MARIGNETTI and MAURIZIO SCARANO DESIGN AND PERFORMANCE EVALUATION OF A NEW DISC-TYPE MMICROMOTOR WITH ETCHED WINDINGS. Electric Machines and Power ystems. 1998,26:887-901．
132 Chong H.Ahn,Yong J.Kim,Mark GAllen. A Planar Variable Reluceance Magnetic Micromotor With Fully Integrated Stator And Wrapped Coils. IEEE Micro-Electro-Mechanical System Conference 1993,pp.1-6
133 Paul Kettle Aengus Murray & Finbarr Moynihan.Sensorless Control of a Brushless motor using an Extended Kalman estimator. PCMI'98 INTELLIGANT MOTION. 1998,5:385-392
134 M.Nienhaus W.Ehrfeld,F.Schmitz ect. Design and realization of a penny-shaped micromotor. SPEE.1999, 36:80592-600
135 William Gerard Hurley . Impedance Formulas for Planar Magnetic Structures with Sprial Windings. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS. 1999, 46 (2) :271-278
136 J.-M.Huang,K.M.Liew and A.Q.Liu. Alarge deflection of out-of-plane magnetic actuators using surface micromachining. SPIE.2000, 4176:140-146
137 Wen-Bin, Tasi and Ting-Yu Chang. Analysis of Flux Leakage in a Brushless Permanent-Magnet Motor with Embedded Magnets.IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS. 1999,35(1) :543-546
138 J.K.Bhardwaj,H.Asharf. Advanced silicon etching use high density plasmas. SPIE Micromachining and Microfabrication Process Technology. 1995, 2639, 224-233
139 Masakazu SHIOZAWA and Kenichi NANBU. Particle Modeling of Inductively Coupled Plasma and Radicals Flow to Predict Etch Rate of Silicon Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 41 (2002) Pt. 1,No. 4A
140 Si-Hyun Park, Heonsu Jeon, Youn-Joon Sung, and Geun-Young Yeom Refractive sapphire microlenses fabricated bychlorine-based inductively coupled plasma etching.APPLIED OPTICS Vol. 40, No. 22 .1 August 2001
141 Akinori Hashimura, Siavash Pourkamali, and Farrokh Ayazi. Single-Crystal Silicon HARPSS Capacitive Resonators with Submicron Gap-Spacing.Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop Hilton Head Island, South Carolina, June 2-6, 2002
142 Petre Minciunescu,Tom Flint, Finbarr Miynihan ect. Sensorless Control of DC Motors Using Exteded Kalman Estimator And Back Emf Integration Algorithm: Acomparidon. International PCM Conference in germany . 2001 ,19-21
143 Wang Qunjing ,Li Guoli, Sun Mingshi ect .An Investigation on Brushless DC Motor CAD. Proceedings of the 3th World Congress on Intelligent Control and Automation in Hefei. 2000 June 28