中图分类法(70)
数理科学和化学(13)
工业技术(57)
交通运输(1)
环境科学、安全科学(1)
在“CNKI学位论文”中，命中：70条，耗时：小于0.01 秒
2.适用于SiC薄膜生长的RTCVD装置及工艺探索
作者：马宝山
关键词：碳化硅 ; 薄膜 ; RTCVD
论文级别：硕士
学位年度：2004
7.CVD制备碳基材料及其特性研究
作者：王国菊
关键词：CVD ; β-SiC ; 薄膜 ; 碳纳米管 ; 场发射
论文级别：硕士
学位年度：2004
9.用LPCVD法在硅衬底上生长3C-Sic
作者：陈雪萌
关键词：碳化硅 ; 薄膜 ; LPCVD
论文级别：硕士
学位年度：2002
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