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万方学术会议(5)万方学位论文(15)
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2.基于RIE与AFM机械刻划的纳米结构加工实验研究
作者：庄昀
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2014
3.离子束刻蚀制作中阶梯光栅研究
作者：高菲
授予学位：硕士
学位授予单位：苏州大学
学位年度：2015
4.有机聚合物波导光栅的设计与制备
作者：岳东海
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2014
5.硅基底超疏水表面的构建及其减阻特性研究
作者：朱海波
授予学位：硕士
学位授予单位：大连海事大学
学位年度：2012
6.MEMS圆片级真空封装的关键工艺研究
作者：王宇哲
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2012
7.基于新型梳状栅电容结构的微机械惯性传感器研究
作者：郑旭东
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学信息与电子工程学系
学位年度：2009
8.微机械电容式加速度计的设计及制备
作者：韩小林
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2011
9.SOI高g值压阻式加速度传感器的研制
作者：汪祖民
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2011
10.电容式微机械加速度计的研究
作者：曹学成
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2007
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