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万方学位论文(5)
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1.气体流场作用下直线驱动二维气浮工作台的振动特性研究
作者：李巍
授予学位：硕士
学位授予单位：广东工业大学
学位年度：2015
2.适用于长光栅刻制的二维超大行程气浮工作台结构设计
作者：莫德云
授予学位：硕士
学位授予单位：广东工业大学
学位年度：2013
3.气浮工作台性能研究
作者：牛童
授予学位：硕士
学位授予单位：河南科技大学
学位年度：2012
4.高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性研究
作者：李海鹏
授予学位：硕士
学位授予单位：广东工业大学
学位年度：2012
5.基于气体润滑静压工作台的若干关键技术
作者：王占彬
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2009
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