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万方学位论文(8)
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1.高精度小平面干涉检测技术研究
作者：刘婷
授予学位：硕士
学位授予单位：西安工业大学
学位年度：2015
2.精密晶圆检测系统中相移干涉术的算法与实验研究
作者：宋菲
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2009
3.激光全息三维应力测试技术研究
作者：时龙
授予学位：硕士
学位授予单位：长春理工大学
学位年度：2013
4.电子散斑剪切-相移干涉术的研究
作者：景超
授予学位：博士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2006
5.基于泰曼-格林干涉的表面三维微观形貌测量的研究
作者：罗玉娟
授予学位：硕士
学位授予单位：中山大学
学位年度：2009
6.表面三维微观形貌测量及其参数评定的研究
作者：朱健军
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨理工大学
学位年度：2008
7.基于白光干涉技术的三维表面微观形貌测量的研究
作者：张琳
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨理工大学
学位年度：2010
8.精密晶圆检测仪光学系统的设计与实验
作者：安宏宇
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2009
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