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1.高精度点衍射干涉仪球面面形检测系统优化及分析研究
作者：陈晓钰
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2016
2.光学表面离子束加工的材料去除机理及表面演变机制研究
作者：梁晓
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2016
3.皮米分辨力双频激光干涉仪相位细分技术研究
作者：蔡海蛟
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2015
4.掩模台机械系统设计及仿真
作者：邓乐
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2011
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