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1.单晶硅各向异性腐蚀的计算机微观模拟
作者：姚娉
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2005
2.硅基电容式三轴加速度传感器研究
作者：王守明
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2010
3.MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究
作者：徐景辉
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2006
4.基于MEMS技术的微型泵的研究
作者：赵强
关键词：MEMS ; 压电 ; 微泵 ; 无阀 ; 电渗
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学院电子学研究所
学位年度：2004-06-01
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