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1.表面工艺静电驱动MEMS变形镜关键技术研究
作者：汪为民
授予学位：博士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2015
2.扭臂式静电驱动MEMS光开关研究
作者：刘军
授予学位：硕士
学位授予单位：上海交通大学
学位年度：2015
3.谐振式微静电驱动系统的非线性分析与控制
作者：谢蛟
授予学位：硕士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2014
4.多非线性耦合变截面微开关动力响应研究
作者：林凡
授予学位：硕士
学位授予单位：西华大学
学位年度：2016
5.一类双极板静电驱动微梁谐振器的非线性振动及其控制研究
作者：韩建鑫
授予学位：博士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2015
6.高精度微光学加速度计静电力闭环系统研究
作者：娄树旗
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2016
7.光控微镜用PLZT陶瓷执行器的驱动与控制研究
作者：陆飞
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2016
8.微悬臂梁的冲击、静电和阻尼研究
作者：李向光
授予学位：硕士
学位授予单位：中北大学
学位年度：2014
9.静电驱动微机电系统动力学分析的若干方法
作者：陈衍茂
授予学位：博士后
学位授予单位：上海交通大学
学位年度：2011
10.静电驱动之微型环的稳定性分析
作者：叶秀倩
授予学位：硕士
学位授予单位：烟台大学
学位年度：2012
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