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1.高深宽比硅通孔的制作与填充技术
作者：余成昇
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2016
2.低G值扭摆式电容加速度计关键技术研究
作者：李源
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆大学
学位年度：2016
3.基于壁虎仿生结构的柔性心电微电极阵列的研究
作者：胡建平
授予学位：硕士
学位授予单位：西安电子科技大学
学位年度：2015
4.ICP刻蚀在加速度计制造中的应用研究
作者：宋同晶
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2012
5.基于软刻蚀技术的无阀微泵制造工艺研究
作者：陈鹏
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2014
6.SiC电容式压力传感器敏感元件的工艺研究
作者：程伟
授予学位：硕士
学位授予单位：厦门大学
学位年度：2013
7.MEMS工艺优化及其应用
作者：付思齐
授予学位：硕士
学位授予单位：长春理工大学
学位年度：2010
8.电容式微加速度计非理想因素分析及新结构设计
作者：吴强
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2010
9.基于AFM和ICP制备高深宽比微纳沟槽结构的实验研究
作者：刘畅
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2009
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