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1.Stochastic programming for qualification management of parallel machines in semiconductor manufacturing

作者：Xiaokun Chang ; Ming Dong ; ^{mdong@sjtu.edu.cn}

关键词：Semiconductor manufacturing ; Qualification management ; Stochastic programming ; Random capacity ; Lagrangian relaxation ; Surrogate subgradient method

刊名：Computers & Operations Research

出版年：2017

2.Multi-objective optimization of tungsten CMP slurry for advanced semiconductor manufacturing using a response surface methodology

作者：Jihoon Seo^a ; Joo Hyun Kim^a ; Myoungjae Lee^b ; Keungtae You^b ; Jinok Moon^a ; ^c ; Dong-Hee Lee^d ; ^{dh@hanyang.ac.kr} ; Ungyu Paik^a ; ^b ; ^{upaik@hanyang.ac.kr}

关键词：Chemical mechanical planarization ; Optimization ; Response surface methodology ; Slurries ; Semiconductor manufacturing process

刊名：Materials & Design

出版年：2017

3.An ANN approach for modeling the multisource yield learning process with semiconductor manufacturing as an example

作者：Toly Chen ^{tolychen@ms37.hinet.net}

关键词：Yield ; Learning ; Semiconductor ; Artificial neural network

刊名：Computers & Industrial Engineering

出版年：2017

4.In-line metrology of nanoscale features in semiconductor manufacturing systems

作者：Tsung-Fu Yao ; Andrew Duenner ; Michael Cullinan ; ^{michael.cullinan@austin.utexas.edu" class="auth_mail" title="E-mail the corresponding author}

关键词：Atomic force microscopy ; MEMS ; Nanomanufacturing ; Nanometrology ; In-line inspection ; Nanopositioning

刊名：Precision Engineering

出版年：2017

5.Influences of energy density on microstructure and consolidation of selective laser melted bismuth telluride thermoelectric powder

作者：Ahmed El-Desouky^a ; ^{ahmed.eldesouky@gmail.com}Author Vitae ; Michael Carter^a ; ^{mjcarter@gwu.edu}Author Vitae ; Mohamad Mahmoudi^b ; ^{mmahmoudi@tamu.edu}Author Vitae ; Alaa Elwany^b ; ^{elwany@tamu.edu}Author Vitae ; Saniya LeBlanc^a ; ^{sleblanc@gwu.edu}Author Vitae

关键词：Selective laser melting ; Thermoelectrics ; Bismuth telluride

刊名：Journal of Manufacturing Processes

出版年：2017

6.Masks and metallic electrodes compounds for silicon biosensor integration

作者：Cristian Ravariu^a ; ^{cristian.ravariu@upb.ro} ; Elena Manea^b ; ^{elena.manea@imt.ro} ; Florin Babarada^c ; ^{florin.babarada@upb.ro}

关键词：Nanostructured materials ; Electrode materials ; Semiconductors ; Thin films ; Nanofabrications ; SEM imaging

刊名：Journal of Alloys and Compounds

出版年：2017

7.Electroluminescence enhancement of glass/ITO/PEDOT:PSS/MEH-PPV/PEDOT:PSS/Al OLED by thermal annealing

作者：Dina Hewidy ; A.-S. Gadallah ; ^{agadallah@niles.edu.eg} ; G. Abdel Fattah

关键词：Electroluminescence ; Organic semiconductor ; MEH-PPV ; PEDOT ; PSS

刊名：Journal of Molecular Structure

出版年：2017

8.Virtual Metrology Concept for Predicting Defect Levels in Semiconductor Manufacturing

作者：A. Ul Haq ; ^{asadulhaq@utexas.edu} ; D. Djurdjanovic

关键词：Virtual Metrology ; Quality Control ; Defect Levels ; Semiconductor Manufacturing

刊名：Procedia CIRP

出版年：2016

9.The GaAs/GaAs/Si solar cell - Towards current matching in an integrated two terminal tandem

作者：Zekun Ren^a ; Haohui Liu^b ; Zhe Liu^b ; Chuan Seng Tan^a ; ^d ; Armin G. Aberle^b ; Tonio Buonassisi^a ; ^c ; Ian Marius Peters^a ; ^c ; ^{impeters@mit.edu} ; ^{ian.marius.peters@gmail.com}

关键词：One sun tandem solar cell ; III-V on Si ; GaAs on Si

刊名：Solar Energy Materials and Solar Cells

出版年：2017

10.Spectroscopic and Langmuir probe measurements of Ar-N₂ mixture plasma in magnetic pole enhanced ICP source

作者：Maria Younus^a ; N.U. Rehman^b ; ^{najeeb-ur-rehman@Comsats.edu.pk}

关键词：ICP ; MaPE-ICP ; OES

刊名：Optik - International Journal for Light and Electron Optics

出版年：2017

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