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1.Acoustic reflectivity minimization in Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers (CMUTs)

作者：Monica La Mura^a ; ^{mlamura@unisa.it" class="auth_mail" title="E-mail the corresponding author} ; Nicola A. Lamberti^a ; Barbara L. Mauti^b ; Giosuè ; Caliano^b ; Alessandro S. Savoia^b

关键词：Reverberation ; Ultrasound imaging ; Reflectivity ; CMUT

刊名：Ultrasonics

出版年：2017

2.Viscometric real-time monitoring of the rolling circle amplification with a micromachined cantilever

作者：Philipp RustAuthor Vitae ; Damiano CereghettiAuthor Vitae ; Jurg DualAuthor Vitae

关键词：Rolling circle amplification ; Micro cantilever ; Micro viscometry

刊名：Sensors & Actuators: B. Chemical

出版年：2017

3.Numerical and experimental analysis of cooling performance of single-phase array microchannel heat sinks with different pin-fin configurations

作者：Dawei Yang ; Yan Wang ; ^{wyyw@sjtu.edu.cn} ; Guifu Ding ; Zhiyu Jin ; Junhong Zhao ; Guilian Wang

关键词：Heat sink ; Pin fins ; Micro-channel ; Thermal resistance ; Pressure drop ; Uniformity of the chip&rsquo ; s top surface (UCTS)

刊名：Applied Thermal Engineering

出版年：2017

4.High aspect ratio channels in glass and porous silicon

作者：H.D. Liang^a ; ^b ; Z.Y. Dang^a ; J.F. Wu^a ; ^c ; J.A. van Kan^a ; S. Qureshi^a ; M.D. Ynsa^d ; ^e ; V. Torres-Costa^d ; ^e ; A. Maira^d ; T.V. Venkatesan^b ; M.B.H. Breese^a ; ^{phymbhb@nus.edu.sg}

关键词：Proton beam irradiation ; High-aspect-ratio channel ; Porous silicon

刊名：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

出版年：2017

5.High Sensitivity Surface Micromachined Absolute Pressure Sensor

作者：Chang Han Je ; ^{chje@etri.re.kr} ; Sung Q. Lee ; Woo Seok Yang

关键词：MEMS ; Pressure sensor ; Absolute pressure ; Surface micromachined

刊名：Procedia Engineering

出版年：2016

6.Sandwich-like electrochemical micromachining of micro-dimples using a porous metal cathode

刊名：Surface and Coatings Technology

出版年：2017

7.A surface-micromachining-based inertial micro-switch with compliant cantilever beam as movable electrode for enduring high shock and prolonging contact time

作者：Qiu Xu^a ; Zhuoqing Yang^a ; ^{yzhuoqing@sjtu.edu.cn" class="auth_mail" title="E-mail the corresponding author} ; Bo Fu^b ; Jianhua Li^b ; Hao Wu^b ; Qihuan Zhang^a ; Yunna Sun^a ; Guifu Ding^a ; Xiaolin Zhao^a

关键词：Inertial micro-switch ; Surface-micromachining ; MEMS ; Compliant cantilever ; Contact time

刊名：Applied Surface Science

出版年：2016

8.Etchant wettability in bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching

作者：Sung-Soo Yoon¹ ; Yeong Bahl Lee¹ ; Dahl-Young Khang ; ^{dykhang@yonsei.ac.kr" class="auth_mail" title="E-mail the corresponding author}

关键词：Si micromachining ; Metal-assisted chemical etching ; Etchant wettability ; Bilayer catalyst

刊名：Applied Surface Science

出版年：2016

9.A Study on the Effect of Electrolyte Concentration on Surface Integrity in Micro Electrochemical Discharge Machining

作者：Ketaki Rajendra Kolhekar ; Murali Sundaram ; ^{murali.sundaram@uc.edu" class="auth_mail" title="E-mail the corresponding author}

关键词：ECDM ; Surface wrinkling ; Micromachining ; Glass

刊名：Procedia CIRP

出版年：2016

10.Built-up-edge effects on surface deterioration in micromilling processes

作者：Z. Wang^a ; V. Kovvuri^a ; A. Araujo^b ; M. Bacci^c ; W.N.P. Hung^a ; ^{hung@tamu.edu" class="auth_mail" title="E-mail the corresponding author} ; S.T.S. Bukkapatnam^a

关键词：Built-up edge ; Micromilling processes ; Surface roughness estimation

刊名：Journal of Manufacturing Processes

出版年：2016

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