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1. Black Germanium fabricated by reactive ion etching

作者： Martin Steglich ; Thomas Käsebier ; Ernst-Bernhard Kley…

刊名：Applied Physics A: Materials Science & Processing

出版年：2016

2. Fabrication of micro-array of Fresnel rings on Si by electron beam lithography and reactive ion etching

作者： Nura Liman Chiromawa ; Kamarulazizi Ibrahim

刊名：Applied Physics A: Materials Science & Processing

出版年：2016

3. Formation mechanism of multi-functional black silicon based on optimized deep reactive ion etching technique with SF6/C4F8

作者：FuYun Zhu (1)
XiaoSheng Zhang (1)
HaiXia Zhang (1)

关键词：formation mechanism ; black silicon ; nanocone ; forest ; deep reactive ion etching (DRIE) ; properties characterization

刊名：SCIENCE CHINA Technological Sciences

出版年：2015

4. Effect of reactive ion etching on the surface of polymethylmethacrylate

作者： A. A. Mironova ; A. M. Popov…

关键词：reactive ion etching ; polymethylmethacrylate ; plasma ; microfluidics ; surface roughness

刊名：Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques

出版年：2015

5. The high-resolution nanostructuring of Si wafer surface with 10 nm scale using a combined ion bombarding technique and chemical reaction

作者： Hwan-Jin Jeon ; Hyeon Su Jeong

关键词：silicon ; nano ; structure ; high resolution ; secondary sputtering lithography ; plasma

刊名：Macromolecular Research

出版年：2016

6. Surface-enhanced Raman scattering of silver thin films on as-roughened substrate by reactive ion etching

作者： Ruijin Hong ; Xiao Song ; Chunxian Tao ; Daohua Zhang ; Dawei Zhang

刊名：Applied Physics A: Materials Science & Processing

出版年：2016

7. Dry etched SiO2 Mask for HgCdTe Etching Process

作者： Y. Y. Chen ; Z. H. Ye ; C. H. Sun ; L. G. Deng ; S. Zhang…

刊名：Journal of Electronic Materials

出版年：2016

8. A novel hanging bowl-shaped mask for the fabrication of vertical sidewall structures

作者： Dongxue Chen ; Qian Liu

关键词：UV lithography ; hanging bowl ; shaped mask ; sidewall effects ; ICP ; SiC

刊名：Frontiers of Physics

出版年：2016

9. Development of a Two-Dimensional Micro-SQUID Array for Investigation of Magnetization Spatial Distribution

作者： Daisuke Sakuma ; Tomoya Shinozaki ; Yusuke Nago…

关键词：SQUID ; Magnetization measurement

刊名：Journal of Low Temperature Physics

出版年：2016

10. 1 THz Micromachined Waveguide Band-Pass Filter

作者： Shuang Liu ; Jiang Hu ; Yong Zhang…

关键词：1 THz ; Metal conductivity ; Dual ; mode resonant cavities ; Band ; pass filter ; DRIE

刊名：International Journal of Infrared and Millimeter Waves

出版年：2016

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