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1.集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究
作者：王涛龙
授予学位：硕士
学位授予单位：中北大学
学位年度：2016
2.MEMS谐振式加速度计频率检测电路设计
作者：张恩杰
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
3.微波驱动超材料的电磁力（矩）研究
作者：程东方
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2015
4.基于LIGA-like工艺的柔性MEMS微电极加工技术研究
作者：曹张玉
授予学位：硕士
学位授予单位：中北大学
学位年度：2015
5.平面锥管无阀压电微泵内部附壁效应研究
作者：朱学斌
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏大学
学位年度：2015
6.基于数值模拟的平面锥管无阀压电泵的非稳态特性研究
作者：蔡盛川
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏大学
学位年度：2014
7.基于分离密度场的几何非线性拓扑优化研究
作者：何启志
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2013
8.纳米通道双原子分子数值模拟
作者：赵振江
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2013
9.基于静电力原理的微小力测量与控制系统
作者：关涛
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2013
10.多层硅直接键合技术的研究
作者：康兴华
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2011
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