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1.基于电容传感器的薄膜厚度测量系统研究
作者：程大鹏
授予学位：硕士
学位授予单位：桂林电子科技大学
学位年度：2011
2.离面运动静电执行器系统级设计方法研究
作者：李敏
授予学位：博士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2010
3.直流电晕放电诱导自由基簇射烟气脱硝试验和机理研究
作者：林赫
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2002-05-01
4.压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计
作者：范勇
授予学位：硕士
学位授予单位：西安电子科技大学
学位年度：2001-01-01
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