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1.电共轭流体微型泵的制作工艺优化和性能研究
作者：张如照
授予学位：硕士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2016
2.形变强化T2紫铜微型平面弹簧精密蚀刻技术研究
作者：陈飞
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2016
3.基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
作者：赵冬伟
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2012
4.QA17铜合金微型平面弹簧冷挤压成形工艺及性能研究
作者：洪祥挺
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2015
5.基于准LIGA技术制作微齿轮的研究
作者：邓扬明
授予学位：硕士
学位授予单位：北京工业大学
学位年度：2005
6.基于UV-LIGA和EDM的三维微型腔制作工艺研究
作者：刘文涛
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2008
7.电容式微机械加速度计的研究
作者：曹学成
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2007
8.微型齿轮齿廓设计方法研究
作者：张荣荣
授予学位：硕士
学位授予单位：南京航空航天大学
学位年度：2006
9.微注塑成型工艺的模拟分析与试验研究
作者：郑伟
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2005
10.数控微流控芯片热压系统研制
作者：沙志宏
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2004-02-01
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