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6.硅碳氮薄膜的制备及性能研究
作者：赵艳艳
论文级别：硕士
学位年度：2008
8.SiO_xN_y和SiC_xN_y薄膜中氮流失的研究
作者：李静静
论文级别：硕士
学位年度：2007
10.硅碳氮薄膜的制备与发光性能的研究
作者：符杨
关键词：硅碳氮 ; 光致发光 ; 溅射 ; 退火 ; β-SiC相
论文级别：硕士
学位年度：2006
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