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5.激光扫描显示MEMS微镜研究
作者：李文翔
论文级别：硕士
学位年度：2012
6.车载红外探测设备的扫描结构设计与应用
作者：孙景旭
关键词：空气质量 ; 车载 ; 隔振 ; 红外
论文级别：硕士
学位年度：2010
8.光通信MEMS光开关关键技术的研究
作者：罗元
论文级别：博士
学位年度：2003
10.面向器件行为的MEMS宏建模方法研究
作者：吕湘连
关键词：MEMS ; 宏建模 ; 半解析
论文级别：硕士
学位年度：2005
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